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HMPS-9750S微波等離子體CVD設備品牌
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◆微波反應腔新型設計，功率密度大。
◆產品沉積速率快、沉積質量高、沉積面積超過6inch。
◆開關型微波功率源，微波功率輸出穩(wěn)定性高。
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