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主要特點(diǎn)

1、腔體結(jié)構(gòu)由一個裝載腔室和一個真空鍍膜工藝腔室組合而成；

2、裝載腔室裝載的同時鍍膜工藝腔室同步進(jìn)行抽真空，極大縮短了鍍膜前處理時間，提高工作效率；

3、裝載腔室和鍍膜工藝腔室之間我們設(shè)計(jì)采用插板閥隔開，可以有效隔斷，穩(wěn)定工藝氣體；

4、傳動采用磁導(dǎo)向，保障傳動的穩(wěn)定性。采用變頻調(diào)速電機(jī)驅(qū)動，運(yùn)行速度可調(diào)節(jié)。

技術(shù)優(yōu)勢

1、PIC配有高效的電磁掃描系統(tǒng)和過濾系統(tǒng)，離子束能量和方向可調(diào)，可將等離子體中的雜質(zhì)顆粒、宏觀粒子、大型離子團(tuán)等過濾干凈，經(jīng)過磁過濾后沉積粒子的離化率為100%，并且可以過濾掉大顆粒，因此制出的納米薄膜非常致密且平整光滑，抗腐蝕性能好，與工件的結(jié)合力很強(qiáng)，在均勻性、致密性、結(jié)合度、硬度、摩擦系數(shù)、改變物質(zhì)表面結(jié)構(gòu)和消除薄膜顆粒等方面取得里程碑式的突破；

2、純離子鍍膜技術(shù)是低溫工藝，鍍膜過程可以控制在80?C以下。鍍膜過程中既不需要高溫也不會產(chǎn)生高溫，因此可以應(yīng)用于塑料、橡膠等產(chǎn)品；

3、作為純離子鍍膜重要應(yīng)用之一的類金剛石DLC鍍膜，膜層可以達(dá)到75%以上的（金剛石鍵）SP3鍵，其物理化學(xué)性質(zhì)和金剛石極其類似，所以薄膜具有極高的硬度（>75GPa）,極低的摩擦系數(shù)（<0.1），耐腐蝕性、光學(xué)透明度等一系列優(yōu)異特征。可將鍍膜件（基體）壽命延長7-10倍。