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陶瓷載盤具有高平面精度、高形貌精度、高使用壽命的特性，產(chǎn)品生產(chǎn)全流程工藝可靠、質(zhì)量穩(wěn)定，實現(xiàn)了產(chǎn)品在不同工況下優(yōu)良的服役性能，有效解決了電極壓傷、裂盤、耐腐蝕能力差等諸多難題，在實際應(yīng)用中實現(xiàn)了半導(dǎo)體晶圓材料良好的CMP拋光品質(zhì)，突破了國外廠商的技術(shù)壟斷，成功實現(xiàn)了國產(chǎn)替代。
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