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01參數(shù)
1.激光波長200-1064nm
2.激光頻率：納秒/皮秒/飛秒
3.***小線寬10-50μm 4.加工面積大于100*100mm 5.重復(fù)精度±5μm
02結(jié)構(gòu)&功能
結(jié)構(gòu)：主要由大理石直線電機(jī)機(jī)架、 頂升輸送帶、激光光路模塊、除塵系 統(tǒng)、CCD相機(jī)找正、氣缸自動(dòng)門及外 框和氣浮系統(tǒng)組成。
功能：使基片實(shí)現(xiàn)輸送、找正定位、 夾緊、并進(jìn)行激光刻蝕配合氣浮及除 塵等一整套的動(dòng)作
03定制服務(wù)
1.視覺系統(tǒng)
2.光路可微調(diào)，間距可變
3.激光頻率、加工面積
4.其他
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