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量程范圍：0.5 SCCM 至 5,000 SLPM
測量范圍： 1% – 100% F.S.
精度：讀數的 0.8% 和 0.2% F.S.
可選高精度：讀數的 0.4% 和 0.2% F.S.
重復性：±0.2% F.S.
響應時間：<10 毫秒
工作溫度：–10°C 至 +60°C
工作壓力：160 PSIA (11 barA)
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