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一、設備組成

滑軌進料系統、加熱系統、組合型收集系統、預熱及真空系統、工控及操作系統。

1、叉車式進料系統：

軌道滑動式進出料模式，配備5層加熱托盤支架每一層2個托盤且上下左右密封，且每一層支架配備加熱元器件，加熱溫度可控，且托盤可從托盤支架上自由裝/卸。每一層托盤支架外側配備進氣口，給腔體提供氣流導向。門板與腔體之間采用加裝護照和石墨密封，即可防止材料沉積到門板上，也可維持基礎真空。

2、加熱系統

加熱腔體采用氧化鋁陶瓷纖維制品與加熱絲一體成型設計，金屬內腔體，測溫元件采用K型熱偶，控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表，可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號。

3、組合型收集系統

收集區由兩個收集腔體組成，與加熱腔體連接處的部分，配備加熱系統，溫度可控。另外一節收集腔體，配備可滑動裝置，方便收集腔體取料、拆卸、清理。收集管底部配備風冷系統，尾端配備艙門以及排氣接口與機械泵連接。

4、預熱及真空系統

進氣系統配備預熱裝置，預熱的氣體從裝料托盤進氣口接入、經過主加熱腔體再從收集

管道排出。設備配備機械泵和電阻真空計，并含有配套使用的波紋管，手動擋板閥，卡箍等連接部件。

5、工控及操作系統

配備15寸工控屏，集加熱、真空、數據處理等控制為一體。

二、產品特色

1、軌道滑動式進出料模式，配備載料托盤，可通過跟換托盤來實現連續升華；

2、每層托盤都配備加熱系統，且溫度可控，溫場均勻；

3、配備氣體引流系統，輔助材料升華后沉積到收集區；

4、采用觸摸屏控制，參數設置和操作直觀方便，參數自動記錄；

5、設備集成化設計、以及集成化管理，美觀方便。

三、技術參數