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型號 | FVA2515S | FVA3020S | FVA4030S | ||
測量行程（mm） | 250 x 150 x 200 | 300 x 200 x 200 | 400 x 300 x 200 | ||
外形尺寸（mm） | 750 x 575 x 1650 | 805 x 635 x 1650 | 931 x 735 x 1650 | ||
重量（kg） | 230 | 300 | 380 | ||
工作臺承重（kg） | 30 | 30 | 30 | ||
運動控制 | 全閉環四軸自動控制 | ||||
測量精度（μm） | X/Y軸 | E2 = (1.5 + L/200) | |||
Z軸 | E1 = (3.0 + L/200) | ||||
**速度（mm/s） | X/Y軸 | 300 | |||
Z軸 | 200 | ||||
光源控制 | 表面光 | 五環八區四十項程控式LED冷光源 | |||
輪廓光 | 程控式LED平行冷光源，256級可調 | ||||
同軸光 | 可選配 | ||||
放大倍率 | 光學放大0.7 ~ 4.5x，影像放大22 ~ 145x | ||||
影像系統CCD | 高靈敏度高分辨率1/2” 黑白/彩色CCD | ||||
光柵尺 | 分辨率0.1μm Renishaw光柵尺 | ||||
軟件 | FRIMS專用測量軟件（FVA-S版） | ||||
工作環境 | 溫度 | 20±2℃ | |||
濕度 | 30% ~ 80% | ||||
振動 | ＜0.002g, 低于15Hz | ||||
電源 | 210V ~ 230V, 50Hz/60Hz | ||||
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