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BST-1400C-CVD品牌
貝意克產地
安徽合肥樣本
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一、設備組成
本設備適用于浮動催化法制備碳納米管工藝，該設備包括有：氣體流量控制裝置、多溫區反應器及加熱裝置、注液裝置、固體收集裝置、自動泄壓裝置、控制系統。
二、產品特色
1、反應器出口配有氣體吹掃接口， 防止碳管在反應器出口堵塞。
2、進液口附近配有測溫熱電偶， 可以控制進液口的溫度。
3、進液口活動式， 可以根據工藝需要的溫度調整上下位置。
4、收集器排氣口安裝可轉動式濾網，防止濾網堵塞。
5、設備配置有自動泄壓裝置， 壓力超過上限時可自動泄壓。
6、配置氫氣報警器， 當檢測到氫氣含量超標時， 自動切斷除惰性氣體外的其他氣體進氣。
三、技術參數
爐管材質 | 剛玉管 |
爐管尺寸 | φ80mm（外徑） |
加熱元件 | 硅碳棒 |
工作溫度 | ≤1350℃ |
溫控系統 | 30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為液晶觸摸屏控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱區長度 | 750mm(3點控溫） |
氣路系統內部裝有5路高精度質量流量計可準確的控制氣體流量，按要求配比，配有1路鼓泡器 | |
控制范圍 | 2～100％F.S. |
準確度 | ≤10SLM ±1％F.S.，＞10SLM ±2％F.S. |
線性 | ≤10SLM ±0.5％F.S.，＞10SLM ±2％F.S. |
重復精度 | ±0.2％F.S. |
響應時間 | ≤2 sec |
預抽真空泵抽速 | 30m3/H |
設備功率 | 18KW |
液態碳源調控注入系統 | |
注液規格 | 10ul-140ml |
工作模式 | 注入，抽取，注入抽取，抽取注入，連續模式 |
通道數 | 1 |
**行程 | 140mm |
行程分辨率 | 0.156um/ustep |
線速度范圍 | 1um/min-150um/min |
線速度調節分辨率 | 1um/min |
行程控制精度 | 誤差＜±0.35%（行程＞**行程30%時） |
冷卻水要求 | |
制冷量 | 2361btu/h |
流量 | 不小于10L/min |
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