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真空等離子清洗設備采用一體化結構，配備RF離子清洗系統，全自動化控制，操作方便，維護方便。通過RF高頻發生器，可產生高密度等離子體，對工件表面進行活化、刻蝕、灰化，有效去除產品表面灰塵及油脂，釋放表面應力，使工件表面獲得各種改性適用于橡膠、玻璃、陶瓷、金屬等材質產品，應用于微電子、LCD、LED、LCM、PCB電路板、半導體封裝，以及醫療器械、生命科學試驗等領域。
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