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水平LPCVD是高質量大批量大尺寸石墨烯CVD法生長專用設備，多種工藝氣體、生長壓力、工藝溫度、工藝過程計算機全自動控制。該設備亦可其他大襯底LPCVD法成膜沉積工藝
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