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磁控蒸發復合鍍膜機JCPF2600
磁控蒸發復合鍍膜機JCPF2600

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型號

磁控蒸發復合鍍膜機JCPF2600

品牌

北京泰科諾

產地

北京

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北京泰科諾科技有限公司

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設備型號:JCPF2600

鍍膜方式:磁控濺射

真空腔室結構:SUS304 方箱式

真空腔室尺寸:L2600mmxH700mmxW260mm

極限真空:優于 5.0x10-5Pa

基片臺尺寸:300mmx400mm向下兼容300mmx300mm

基片溫度:常溫

濺射靶:矩形平面靶1套,旋轉柱狀靶2套

控制方式:PLC/PC 控制 ( 可選 )

占地面積:15000mmx5000mm

供電總功率:≥ 20kW 三相五線制


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