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MOCVD在線監測系統 viperRTC–LSS品牌
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l 適用于Aixtron Gx 每小盤多片行星式MOCVD系統
l 測溫波長：940nm ü測量反射率波長：940nm, 633nm 或定制
l 測量曲率波長：405nm激光
l 曲率測量傳感器：PSD
l 測溫范圍寬：450度~1450度
l 測量準確度：±1度，重復性精度 <0.5度
l 一個溫度反射率測量通道，1個曲率測量通道（可配置多通道）
l 單點RTC探頭，同時測量溫度，反射率和曲率
l 獨有算法，可實現行星式多片wafer的曲率測量
viperRTC–LSS (Low Speed Single point curvature) MOCVD在線監測系統，用于慢轉速，多片行星式MOCVD設備，實現對工藝反射率（R），溫度（T）和翹曲度（C）的實時監測。測溫信號，可用于閉環溫度控制。
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