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氟化鋰(LiF)晶體屬于立方晶系，解理面為(100)面，具有優良的光學性能，尤其在深紫外波段。隨著近年來深紫外技術的發展，氟化鋰晶體以其在深紫外波段高的透過率和短的截止波長收到越來越多的關注。
規格參數：
材料 | LiF |
方向 | 【100】，＜5° |
平行度 | 10″ |
垂直度 | 5′ |
表面光潔度 | 20/10 |
波前畸變 | λ/8 @ 632nm |
面形（平面度） | λ/8 @ 632nm |
通光口徑 | ＞95% |
倒邊 | ＜0.2X45° |
尺寸公差 | ±0.1mm |
**尺寸 | Dia75X100mm |
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