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其他驅動方式：
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**工作壓力可達31MPa
全包裹閥座設計，具有優越的抗膨脹和防污染能力
鎳鈷合金膜片，具有更高的耐久性和抗腐蝕性
標準的粗糙為Ra0.25um(BA級)，或者電解拋光Ra0.13um(EP級)可選
氦氣測試泄漏率<1x10-9 std cm3/s
氣動執行器可供選擇
氣動閥壽命可達10萬次
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