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特征：
高單脈沖能量(>1.5mJ)及高平均功率(15W)；
光束質量好M2<1.2，圓度高，加工均勻性好；
脈沖能量穩定性好，加工效果一致性好；
脈沖寬度窄<15ns@10kHz，熱影響小；
可選風冷或水冷；
應用：
半導體晶圓的切割、標識、打孔；
鋰電池極耳的切割，焊接；
PCB電路板的切割、打孔；
激光精密調阻；
精密鉆孔加工；
金屬類材料切割、打標、打孔；
激光晶體 | Nd:YAG | Nd:YAG | Nd:YAG | Nd:YAG |
波長 | 1064nm | 1064nm | 1064nm | 1064nm |
功率 | 2W | 5W | 5W | 15W |
工作頻率 | 10kHz | 10kHz | 10kHz | 10kHz |
單脈沖能量 | 0.2mJ | 0.5mJ | 0.5mJ | 1.5mJ |
脈沖寬度 | ＜12ns | ＜40ns | ＜70ns | ＜40ns |
重頻頻率 | 1~30kHz | 1~50kHz | 1~50kHz | 1~50kHz |
光束質量 | ＜1.2 | ＜1.2 | ＜1.2 | ＜1.3 |
光斑圓度 | ＞90% | ＞90% | ＞90% | ＞90% |
脈沖穩定性 | ＜2.5% | ＜2.5% | ＜2.5% | ＜2.5% |
偏振方式 | 豎直 | 豎直 | 豎直 | 豎直 |
冷卻方式 | 風冷 | 風冷 | 風冷 | 水冷 |
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