磨拋盤直徑：
-主軸轉速：
-單位能耗：
-裝機功率（kw）：
-成品細度：
-工作原理：
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系統配置
系統類型:全自動化干燥/干燥晶圓尺寸:150mm或200mm工藝可行·EFEM:2-盒式，傳輸機器人中間機器人
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