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石墨純化爐

首先在真空條件下對批量產品進行高溫純化，在該過程中，揮發性成分經高溫釋放揮發。下一步處理使用鹵素氣體，確保氯和氟在工藝中作為有效的反應物。典型的**工藝溫度為2200℃，但在個別情況下可以達到2400℃。

在這種極端的工藝條件下，必須要**限度地考慮安全問題，并精準了解所用材料的確切特性。

在選擇所用的材料和部件時要考慮到反應性氣氛，以確保系統具有盡可能長的使用壽命。

為了確保符合德國TA Luft空氣質量法規等標準，使用的工藝氣體及其反應產物作為廢氣排放前需要進行后處理。這種后處理通常由一個氣體洗滌器來完成。