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PVT晶體生長爐
PVT晶體生長爐

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型號

PVT晶體生長爐

品牌

合肥露笑

產(chǎn)地

安徽

樣本

暫無
合肥露笑半導(dǎo)體材料有限公司

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晶體生長:通常采用物理氣相傳輸法(PVT法)生長碳化硅晶體。

感應(yīng)將坩堝加熱至2,000℃以上,控制籽晶處溫度略低于下部微粉處,在坩堝內(nèi)形成軸向溫度梯度。碳化硅微粉在高溫下升華形成氣相的Si2C、SiC2、Si等物質(zhì),在溫度梯度驅(qū)動下到達(dá)溫度較低的籽晶處,并在其上結(jié)晶形成圓柱狀碳化硅晶錠。


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