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高純石墨主要通過化學氣相沉積、高溫石墨化、化學剝離等方法制備而成。其中，化學氣相沉積法是目前制備高純石墨的主要方法之一，該方法利用化學反應在基材表面上沉積石墨薄膜，并在高溫下石墨化形成高純度的石墨材料。
高純石墨的應用非常廣泛，如在電池中用作電極材料、在半導體制造中用作熱擴散板、在涂層中用作導電涂層等。此外，高純石墨還常被用于制造高溫爐、真空爐等高溫設備的熱源和支撐材料以及作為航空、航天和國防等領域的材料。
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