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電化學機械拋光技術

推薦新型SiC拋光技術,效率飆升10倍!

中國粉體網訊 隨著半導體技術的飛速發展,碳化硅(SiC)作為一種卓越的高性能材料,正日益成為科研界關注的焦點。然而,其卓越的硬度和化學穩定性特性,在為材料帶來優勢的同時,也給拋光工藝設置了重重難關。特別是在晶圓的精密制造環節[更多]

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