中國粉體網訊 近日,國家知識產權局信息顯示,北京晶亦精微科技股份有限公司取得一項名為“一種自降溫的晶圓拋光方法”的專利,可以在拋光工藝中實現自降溫。來源:國家知識產權局晶圓,作為半導體芯片的核心載體,其表面質量直接決定著芯片[更多]
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