推薦主宰拋光液命運的“隱形軍團”：磨粒

化學機械拋光液是影響拋光質量和拋光效率的關鍵因素之一，而拋光液中的磨粒和氧化劑決定了拋光液的各項化學機械拋光性能。化學機械拋光液各組分 來源：王東哲等，化學機械拋光液的研究現狀在拋光過程中，拋光液中的化學添加劑和材料表面發生[更多]