推薦碳化硅單晶切割技術研究

中國粉體網訊 碳化硅單晶材料以其優良的性質，可以實現半導體照明，提高光存儲密度，改善裝備性能，具有廣泛的應用領域及廣闊的應用前景。依據器件的使用，要求碳化硅單晶拋光片要有高的表面質量：表面光滑、表面粗糙度低、無缺陷、無損傷，[更多]