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碳化硅單晶生長

推薦談一談碳化硅單晶技術(shù)發(fā)展動態(tài)與趨勢——訪天津理工大學(xué)功能晶體研究院徐永寬副院長

中國粉體網(wǎng)訊 在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中,以先進陶瓷為代表的關(guān)鍵零部件是支撐半導(dǎo)體設(shè)備實現(xiàn)先進制造的重要載體,也是目前國產(chǎn)化替代的重要領(lǐng)域。同時,以碳化硅為代表的第三代半導(dǎo)體材料已展現(xiàn)出極其重要的戰(zhàn)略性應(yīng)用價值,其中碳化硅單晶制備占據(jù)[更多]

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