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碳化硅零部件

推薦半導體設備的“核心力量”——碳化硅零部件

中國粉體網(wǎng)訊 碳化硅(SiC)是一種性能優(yōu)異的結構陶瓷材料。碳化硅零部件,即以碳化硅及其復合材料為主要材料的設備零部件,其具備密度高、熱傳導率高、彎曲強度大、彈性模數(shù)大等特性,能夠適應晶圓外延、刻蝕等制造環(huán)節(jié)的強腐蝕性、超高[更多]

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