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物理氣相沉積法

推薦新型DSC陶瓷基板首次實現高性能IGBT線路刻蝕

中國粉體網訊 近日,深圳后浪實驗室利用自主研發的直接濺射陶瓷基板(Direct Sputtering Ceramic Substrate,DSC)首次完成曝光、顯影、蝕刻等工藝實現IGBT線路雙面刻蝕,制備的IGBT基板銅層[更多]

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