中國粉體網訊 目前,用于SiC晶體生長的主要技術包括物理氣相輸運(PVT)法、高溫化學氣相沉積( HTCVD)法,以及頂部籽晶溶液生長(TSSG)法。其中,PVT法作為現階段發展最為成熟、應用最廣且商業化程度最高的SiC單晶[更多]
用微信掃碼二維碼分享至好友和朋友圈