該顆粒粒徑在55-1400nm，將二氧化砂顆粒用超聲或攪拌分散到極性有機溶劑中，其溶劑的體積為3-100克/升；再在上述溶液中加入水/或氨水，然后加入鈦酸酯，使混合后氨的初始體積摩爾濃度為0.001-1摩爾/升，水的摩爾濃度為0.01-3摩爾/升，鈦酸酯的摩爾濃度為0.005-0.5摩爾/升。在25-45℃下反應3-48小時，得到復合單分散均勾納米二氧化鐵球型顆粒。用該工藝得到的顆粒純度高，分散性好，且產物的尺寸可通過反應條件加以控制。
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