從第二屆高比能固態電池關鍵材料技術大會組委會獲悉,埃地沃茲貿易(上海)有限公司作為參展單位出席會議,本屆會議將于2021年3月11-12日在湖南長沙舉辦。
埃地沃茲是真空和減排的全球領導者。我們自豪地引領行業,突破科學的界限,提供日常生活所固有的創新產品,與客戶合作,不斷樹立新標準。
Edwards 擁有 100 多年的豐富傳統,是全球數萬家關鍵應用中客戶的首選合作伙伴。從發電到鋼鐵生產,到具有挑戰性的空間模擬和高能物理研究環境,不同領域都需要真空。無論您發現真空要求,您都會發現愛德華茲引領市場。從藥品到手機,從電腦到咖啡豆,從汽車和化學品,我們為改變人們的生活感到自豪。我們以負責任的態度行事,確保我們以可持續方式進行創新,同時幫助客戶保持競爭優勢和卓越運營。Edwards 是阿特拉斯·科普柯集團(NASDAQ OMX 斯德哥爾摩:ATCO A,ATCO B)的一部分,該集團是一家總部位于瑞典的工業生產力解決方案提供商。
部分產品介紹
先進的錐形螺桿技術,具有卓越的性能和能效
從乙酸酯到二甲苯(以及介于兩者之間的所有產品),Edwards CXS 化學干泵可幫助您通過在全球安裝的數千個化學真空系統中開發的尖端智能和壓縮技術提高性能。
創新的螺桿技術,用于優化泵送
CXS 錐形螺釘技術可提高所有進氣壓力的熱穩定性和優化泵送。此外,一個好處是無腐蝕操作和堅固的液體和固體處理,以處理您更苛刻的化學工藝。
ATEX 認證/防爆認證
CXS 通過 ATEX 認證,具有建筑安全性和密封性,用于從 IIB/IIB3 組泵送氣體。由獨立機構測試和認證的爆炸,這是一個泵,你可以依靠在最具挑戰性的環境中。
特定于應用程序的模塊
Edwards 的一系列預設計模塊可幫助您滿足您的特定應用需求。單一設計包括多種應用選項,可作為獨立泵或完整系統提供,包括用于更高泵送容量的機械增壓器。
前所未有的泵控制
您可以通過板載通信控制器監控泵的數據,以即時改進流程。泵包括特殊的啟動和關閉模式,以釋放轉子或避免冷發作(如果需要)。
友好環保
CXS 泵在較寬的環境和您直接的工作區域更親切,無需處理受污染的機油,且運行平穩,振動低。
2、離子泵
也稱為濺射離子泵或離子吸管泵,是使用陽極/陰極陣列對氣體進行電離的捕獲泵。離子濺射反應陰極材料,產生化學反應,將電離氣體轉化為固體化合物。這些化合物不再有助于真空系統的壓力,并永久捕獲在離子泵中。離子泵的運行范圍為 105 至 10-12 mbar,其尺寸范圍為 0.2 至 1,200 l/s 氮氣。
3、半導體干泵
iXM 系列 = 低能耗性能
iXM 低能耗干泵可為您最關鍵的應用帶來更高的正常運行時間、減少環境影響和成本優勢,帶來真正的工藝改進。
節能根機制可將輸入功率降低 60%,減少環境影響,降低擁有成本
氣體阻隔技術和熱設計改進使耐腐蝕性是之前系列的四倍
先進的粉末處理功能為多層蝕刻工藝提供最大的可靠性和延長泵的使用壽命,并降低了 CVD 工藝的功耗
緊湊、重量輕的設計,加上極低的噪音和振動,為您提供了更多的多功能性
提供 Xcede 技術,增強耐腐蝕性。
iXH 系列,用于惡劣環境
iXH 干泵系列為苛刻的工藝能力、可靠性和更低的擁有成本樹立了新的標準。
廣泛的溫度范圍允許您優化泵,以最大限度地減少冷凝和電鍍的輔產品積累
iXH Mk2 干泵在最苛刻的工藝中提供更長的使用壽命,并可顯著改善能效
創新的泵密封技術可延長工藝壽命,降低泄漏風險
提供 Xcede 技術,增強耐腐蝕性。
適用于輕型應用的 iXL 系列
iXL 系列是一系列低能耗緊湊型干泵,適用于晶圓處理、PVD 和計量等輕型應用。
快速室泵下,功耗極低;
iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干泵是用于輕型應用的最小和最安靜的泵之一;
iXL600M 和 iXL1000M 變型經過工藝硬化,專為介電(氧化物)蝕刻和其他類似應用而設計;
iXL600(N)和 iXL1000(N) 干泵具有高泵送速度和低能耗;
iXL900R 是目前適用于 FPD 負載鎖應用的最快的負載鎖泵。這種新型泵可顯著降低其運營成本和安裝時間,特別適用于用于等離子氣相沉積 (PVD) 應用的最大負載鎖室。此外,客戶每個負載鎖室需要的泵更少,從而減少安裝時間、系統化成本、維護和公用設施消耗;
綠色模式可減少閑置期間的公用設施使用,降低成本,并有助于提高環境性能。
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