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ITO一般指氧化銦錫,是由一定比例的銦錫氧化物混合而成。因ITO材料同時具有導電性和透光性,因此ITO靶材被普遍用在各類顯示屏成像技術上。
電阻率和透光率是ITO薄膜的重要性能指標,而氧化銦錫粉末質量好壞直接決定了其性能指標的好壞,因此把控好氧化銦錫粉末的品質成為整條工藝流程的重中之重。而評價氧化銦錫粉體質量好壞的標準主要有粉體粒度、粉體均勻度和粉體雜質含量等。生產過程中需對上述指標進行嚴格把控,稍有偏差便可影響最終ITO薄膜的導電阻率和透光率。
在氧化銦錫制備方法中,除去國內外較為成熟的液相化學共沉淀法和均相共沉淀法等化學合成法,機械研磨法一直是一種簡單、高效且成本最低的制備方法,但是由于傳統臥式砂磨機使用超細研磨介質時極易堵網、卡珠,很難制備納米級氧化銦錫粉,而且研磨后粉末粒度分布寬、雜質引入多,無法達到制備高質量ITO靶材的技術指標,一直得不到好的發展和推廣。
叁星飛榮立式無機封無篩網砂磨機克服了上述難題,使機械研磨法制備納米ITO成為現實。該設備通過對機械結構的全新設計和研磨機理的突破創新,開創性的采用立式研磨的方式,取消了困擾臥式機研磨效率的機械密封和篩網兩大裝置,首次采用無軸封、無篩網的結構方式,大大降低設備故障率的同時可使用超細研磨介質,極大地提高了設備的研磨極限,達到真正的納米級;同時引入分級分離、分離研磨的機制,使得設備絕大部分功作用于大顆粒,使之研磨效率高,產品粒度分布窄,顆粒大小均勻,而且磨腔各部位顆粒受力均勻,也有一定球化處理效果,使得制備的粉體性能更優。
ITO研磨前后的SEM照片
叁星飛榮目前已經多家國內濺射靶材行業領軍企業建立了長期合作關系,在ITO粉體研磨領域積累了豐富經驗,設備質量經過下游廠家的嚴苛驗證,同時公司可為客戶定制完整的自動化智能研磨解決方案,協助客戶打造智能產線、智慧工廠。
某客戶案例
公司利用自身在砂磨機行業的強大優勢,根據客戶的工藝路線需求,設計超細粉體材料加工的整個工藝流程及設備--“開料-計量-投料-預混-超細研磨-干燥-破碎-(煅燒-破碎)-改性-包裝”或其中部分流程的一體化設計方案,真正做到“交鑰匙”到客戶手中。