中國粉體網訊  在半導體產業鏈中，以先進陶瓷為代表的關鍵零部件是支撐半導體設備實現先進制造的重要載體，也是目前國產化替代的重要領域。同時，以碳化硅為代表的第三代半導體材料已展現出極其重要的戰略性應用價值，其中碳化硅單晶制備占據價值鏈最核心位置。4月25日，由中國粉體網主辦的“第三屆半導體行業用陶瓷材料技術研討會暨第三代半導體SiC晶體生長技術交流會”在江蘇蘇州隆重召開，會議期間，我們邀請到眾多專家學者做客“對話”欄目，圍繞先進陶瓷在半導體行業的應用研究及碳化硅單晶生長技術及產業化進行了訪談交流。本期為您分享的是潮州三環（集團）股份有限公司市場部副總監兼精密陶瓷事業部副總經理馬沖的專訪。

中國粉體網：馬總，請問潮州三環在半導體用精密陶瓷領域做了哪些重點布局？

馬總：三環是一家專門做先進陶瓷的企業，1970年成立。經多年的技術積累和創新，公司高新技術產品已形成以移動終端陶瓷部件、光通信陶瓷部件、氧化鋁/氮化鋁陶瓷基板、陶瓷封裝基座、MLCC（多層片式陶瓷電容器）、 燃料電池電解質隔膜片、接線端子、傳統電阻、電阻用陶瓷基體等為主導的多門類產品結構。

在半導體領域，我們目前有幾個主要的產品。一個是芯片制造過程中，有很多設備像刻蝕機、沉積的設備PVD、CVD等里面都會用到很多陶瓷零部件、結構件，三環有在做這類先進陶瓷。

三環精密陶瓷結構件

在下游的封測端，像長電、華天、通富，他們在晶圓打線的時候，要用到一個產品就是半導體用陶瓷劈刀，這個也是三環的主要產品之一，目前主要是這兩塊。

三環陶瓷劈刀

中國粉體網：潮州三環在半導體用陶瓷件的國內、國際市場的開發情況如何？

馬總：三環現在主要是做國產替代的工作，因此三環在半導體領域目前主要的精力是在國內市場的開發上。關注國外先進的工藝，然后我們三環獨立研發出來，給客戶做支持。

中國粉體網：與國際廠商相比，潮州三環在半導體用精密陶瓷方面有哪些突出的優勢？

馬總：三環做先進陶瓷材料擁有著悠久的歷史，先進陶瓷材料在電子領域、半導體領域以及其它高端制造業領域都有著廣泛重要的應用。

與其他國際廠商相比，三環有以下突出的特點，首先，半導體領域、電子領域用的先進陶瓷的基礎原材料，三環都是自己開發，自己來做的。特別是越高端的制造用的這些先進陶瓷，它的最重要核心之一就是在原材料方面，包括工藝的管控上面。三環在這個方面做了很大的努力，在原材料方面有一定的積累。

然后，我們有自己的測試分析設備。在研究開發方面，三環有幾個研究院，潮州研究院、成都研究院、德陽研究院、南充研究院，還有深圳研究院跟蘇州將要成立的研究院。我們每年的研發投入都將近五個億左右。目前我們幾個研究院整體的測試分析設備應該也有四個億左右。要做各種機理的分析，專業的測試分析設備這一點是很重要的。

我們三環曾先后完成多項國家863計劃和廣東省科技招標項目， 研究開發了與國際先進技術同步發展的固體燃料電池(SOFC)陶瓷電解質隔膜片、 光通信連接器陶瓷插芯和套筒；研制了納米瓷粉、功能瓷料、電極漿料等多項基礎材料。

中國粉體網：在電動車和新能源光伏這兩大應用市場，潮州三環有哪些精密陶瓷產品？

馬總：在光伏行業，光伏逆變器封裝用氮化鋁基板，我們有在做，氮化鋁基板在散熱方面具有獨特的優勢。

在新能源領域，三環專注于SOFC20年，從2004年開始做電解質隔膜片，12年后做了單電池、電堆、模組及熱電聯供系統，同步進行了SOEC的技術開發；SOFC是將化學能轉為電能的發電技術，世界上效率最高，無污染的發電技術。

三環氮化鋁基板

中國粉體網：感謝馬總接受我們的采訪。

（中國粉體網編輯整理/平安）

注：圖片非商業用途，存在侵權告知刪除！