中國粉體網訊 在目前全球常規能源短缺的情況下,太陽能光伏發電成為綠色再生能源的重要組成部分,得到各國政府的大力扶持和發展。
在單晶硅的制備中,大都是利用切克勞斯基(Czochralski)法來制備(簡稱CZ法),特別是目前太陽能級單晶硅的生產中,幾乎全都采用這種方法來制備單晶硅,以滿足太陽能電池的需要。
在采用CZ法制備硅單晶的過程中,如何提高拉晶效率及降低能耗一直是節能降耗研究的重點,其中節能降耗的重要措施就是降低熱場的熱量損失,其中采用熱屏(屏蔽熱量擴散的裝置)就是降低能耗并改善熱場的一種非常有效的方法措施。
水冷熱屏是熱屏的其中一種,水冷熱屏能夠將單晶生長區域與外部環境隔離,形成一個相對穩定的溫度場。另外,在直拉單晶生長過程中,水冷熱屏對晶體取向具有導向作用。通過調整冷卻水的流向和速度,可以改變晶體在生長過程中的取向,從而獲得所需的晶體結構。
目前單晶爐在完成單根晶棒的拉制收尾取段或斷線提出后,由于爐內的硅料不足,需要直接進行預熱,加入硅石料塊。但是由于爐內的硅料已完全熔化,呈液態,因此,在加入第一桶的硅石料塊時,因液面無料塊進行鋪墊,硅石料塊加入坩堝內時會導致濺硅,而濺起的硅點會飛濺到水冷熱屏和/或坩堝壁上。后續在進行引放或等徑工序時,由于需要放入惰性氣體來進行保護,因此在將惰性氣體沖入單晶爐中時,會把濺到坩堝壁以及水冷熱屏上的硅點帶入單晶爐的硅液中,從而對正在生產的硅棒造成污染,并進一步導致斷線。硅點導致斷線的原因在于:當硅點落入液面時,液面會產生表面張力,表面張力會使得液面收縮,從而形成一個凹陷。如果凹陷深度足夠大,液面會斷裂,形成斷線,而斷線的存在則會嚴重浪費工時,影響單晶硅的制備效率。
為了克服現有技術的不足,5月14日,高景太陽能公司公布了一項發明,發明提供一種用于降低單晶硅拉制過程加料濺硅的方法及系統,用于解決現有用于單晶硅拉制的復投加料方法由于易造成濺硅,從而導致硅棒污染,并造成斷線的技術問題,從而達到通過大大降低復投加料過程出現濺硅的概率,提高單晶硅的制備效率的目的。
本發明方法及系統如下:
包括:設定單晶爐參數,發出取棒命令,并根據設定的單晶爐參數,調整主加熱器和底加熱器的功率;在接收到取棒命令后,單晶爐根據品質要求完成單根晶棒的拉制收尾取段或等徑斷線提出;判斷單晶爐的主加熱器的功率是否達到設定值,若否,則繼續調整單晶爐的主加熱器的功率,若是,則判斷單晶爐的底加熱器是否達到設定值;若否,則繼續調整單晶爐的底加熱器的功率,若是,則調整坩堝的旋轉速率,以在硅液表面形成液面結晶片;對單晶爐進行預熱,并在達到設定的預熱時間后,進行復投加料,讓料筒內的硅石料塊落到液面結晶片。
參考來源:國家知識產權局
(中國粉體網編輯整理/星耀)
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