中國粉體網(wǎng)訊  近日，駐馬店市生態(tài)環(huán)境局驛城分局對河南協(xié)鑫硅基新材料公司3萬噸/年高純度石英硅料項(xiàng)目（電子級）環(huán)評受理情況進(jìn)行了公示。項(xiàng)目總投資70000萬元，建設(shè)3 萬噸/年高純石英硅料（電子級），其中為檢驗(yàn)產(chǎn)品質(zhì)量，項(xiàng)目設(shè)置有石英坩堝試驗(yàn)線。

項(xiàng)目產(chǎn)品方案

項(xiàng)目廠房內(nèi)設(shè)置原料暫存區(qū)、礦石預(yù)處理區(qū)及石英坩堝試驗(yàn)線，成品暫存庫、檢驗(yàn)室、電磁磁選、高溫氯化區(qū)、烤砂區(qū)、純水制備、儲罐區(qū)、酸洗區(qū)、浮選區(qū)、焙燒水淬及制砂、篩分區(qū)等，其中，高純石英硅料（電子級）生產(chǎn)工藝流程為礦石上料、礦石破碎、礦石篩分等預(yù)處理工序、焙燒水淬、分選、制砂、除雜、一次浮選、酸洗、二次浮選、烤砂、電磁磁選和氯化包裝等。

項(xiàng)目生產(chǎn)工藝流程

項(xiàng)目石英坩堝試驗(yàn)線采用電弧法生產(chǎn)工藝。電弧法制石英坩堝主要原理為在真空環(huán)境內(nèi)電極起電弧產(chǎn)生高溫對石英進(jìn)行熔制而得到純凈的石英坩堝制品。本項(xiàng)目設(shè)置的石英坩堝試驗(yàn)線目的為對生產(chǎn)的高純石英砂產(chǎn)品質(zhì)量進(jìn)行驗(yàn)證，通過制作坩堝觀測高純石英砂透明層、黑點(diǎn)、氣泡、絮狀物等質(zhì)量情況。

半導(dǎo)體行業(yè)是高純石英砂應(yīng)用較為廣泛的領(lǐng)域，且對高純石英砂的品質(zhì)要求極高。高純石英制品是半導(dǎo)體制造過程中重要的耗材。在半導(dǎo)體行業(yè)中，以高純石英砂為原料的石英坩堝是用于直拉法生產(chǎn)單晶硅的輔助性耗材，高純石英砂是石英坩堝核心原材料，其純度顯著影響拉晶效果。另外，半導(dǎo)體制造過程中所用的石英環(huán)、石英舟、石英管、石英棒、石英錠、石英鐘罩等石英制品，同樣需要以高純石英砂為原材料進(jìn)行制備。

其中，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T3328-2016電子產(chǎn)品用高純石英砂標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定了電子產(chǎn)品的技術(shù)條件、分析方法通則、灼燒矢量的測定、二氧化硅的測定、鐵的測定、銅的測定、鉻的測定、鋁的測定以及鉛的測定。標(biāo)準(zhǔn)適用于電子產(chǎn)品用高純石英砂，可用于制造半導(dǎo)體石英器件的管、棒、塊、板、片以及坩堝等器件，標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定粒徑應(yīng)在70μm～350μm，二氧化硅含量和雜質(zhì)元素含量應(yīng)該符合下列圖表（表1，表2）中要求。

據(jù)悉，河南協(xié)鑫硅基新材料有限公司成立于2024年1月18日，位于河南駐馬店市驛城區(qū)，是協(xié)鑫集團(tuán)旗下子公司，協(xié)鑫集團(tuán)是一家在碳達(dá)峰、碳中和目標(biāo)引領(lǐng)下，以風(fēng)光儲氫氨醇等多種形式的新能源、清潔能源與可再生能源為主體的綠色低碳科技企業(yè)，是成功攻克電子級硅料卡脖子技術(shù)，系統(tǒng)掌握集成電路專用高純電子級多晶硅制備技術(shù)，且規(guī)模大、市占率高的電子級多晶硅生產(chǎn)企業(yè)。在12英寸大硅片、大晶圓領(lǐng)域，協(xié)鑫具備進(jìn)口替代技術(shù)能級，是少數(shù)的“中國芯”原材料制造商之一。

參考來源：

駐馬店市驛城區(qū)人民政府、協(xié)鑫集團(tuán)官網(wǎng)

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T3328-2016電子產(chǎn)品用高純石英砂

蔣雪松.高純石英砂制備及浮選機(jī)理研究

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末）

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