中國(guó)粉體網(wǎng)訊  近日，由中電二公司承建的漢京半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目封頂儀式順利舉行。

據(jù)了解，漢京半導(dǎo)體項(xiàng)目由遼寧漢京半導(dǎo)體材料有限公司投資建設(shè)，項(xiàng)目總投資10億元，占地面積9.6萬平方米，規(guī)劃建筑面積12萬平方米，提供直接就業(yè)崗位1000個(gè)以上。 項(xiàng)目規(guī)劃建設(shè)石英工廠、陶瓷工廠和高精尖研發(fā)中心等，主要生產(chǎn)集成電路產(chǎn)業(yè)專用材料，利用碳化硅新型材料制造半導(dǎo)體行業(yè)所使用的立式舟、石英管等產(chǎn)品。

該項(xiàng)目于2024年3月開工建設(shè)，目前已完成全部建筑物封頂，2025年底實(shí)現(xiàn)項(xiàng)目投產(chǎn)試運(yùn)行，2027年實(shí)現(xiàn)達(dá)產(chǎn)運(yùn)行。項(xiàng)目全部達(dá)產(chǎn)后預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值12億元，年稅收1億元，提供直接就業(yè)崗位1000個(gè)以上。與此同時(shí)，項(xiàng)目還將促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)加速向鐵西區(qū)聚集，吸引半導(dǎo)體上下游產(chǎn)業(yè)加速聚集發(fā)展，加快形成新質(zhì)生產(chǎn)力，推動(dòng)沈陽市成為半導(dǎo)體設(shè)備重要材料供應(yīng)基地。

半導(dǎo)體領(lǐng)域：碳化硅“份量”很大

在半導(dǎo)體領(lǐng)域中，與其它陶瓷材料相比，碳化硅陶瓷具有低密度、高強(qiáng)度、高硬度、高彈性模量、高比剛度、高耐磨的特點(diǎn)，同時(shí)它的導(dǎo)熱系數(shù)比較高、熱變性系數(shù)較低，隨溫度變化不易出現(xiàn)變形情況，這也是碳化硅材料在半導(dǎo)體裝備中被大量應(yīng)用的主要原因。

碳化硅零部件，即以碳化硅及其復(fù)合材料為主要材料的設(shè)備零部件，被廣泛應(yīng)用于外延生長(zhǎng)、等離子體刻蝕、快速熱處理、薄膜沉積、氧化/擴(kuò)散、離子注入等主要半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的設(shè)備中。其中，高純燒結(jié)碳化硅零部件是集成電路熱處理裝備反應(yīng)腔內(nèi)不可或缺的零部件，主要包含立式舟（Vertical Boat）、底座（Pedestal）、襯爐管（Liner Tubes）、內(nèi)爐管（Inner Tubes）和隔熱擋板（Baffle Plates）等等。

LED外延片、SiC外延片、Si外延片制備及集成電路制造過程中，反應(yīng)腔內(nèi)為高溫環(huán)境、氣氛惡劣，對(duì)內(nèi)部零部件損傷大。碳化硅材料零部件的精密度、純度和耐腐蝕能力對(duì)晶圓、芯片質(zhì)量、良率有較大影響，因此半導(dǎo)體設(shè)備廠商及外延片廠商、晶圓廠商對(duì)供應(yīng)商碳化硅零部件產(chǎn)品性能及技術(shù)要求較高。

關(guān)于漢京半導(dǎo)體

遼寧漢京半導(dǎo)體材料有限公司成立于2022年6月，是一家專業(yè)從事SiC燒結(jié)、CVD涂層、精加工生產(chǎn)、檢驗(yàn)、銷售為一體的高精端企業(yè)。漢京半導(dǎo)體技術(shù)人員憑借在半導(dǎo)體領(lǐng)域多年的深耕經(jīng)歷與經(jīng)驗(yàn)和國(guó)際領(lǐng)先的技術(shù)工藝及生產(chǎn)設(shè)備，率先成為國(guó)內(nèi)首家碳化硅耗材生產(chǎn)商。

目前漢京半導(dǎo)體已初步建成了以SiC Tube、SiC Boat、SiC Cap、SiC Fin、SiC Ring為主體的產(chǎn)品線，下一步將繼續(xù)加大研發(fā)力度，滿足半導(dǎo)體行業(yè)需求。

來源：中電二公司、鐵西報(bào)、中國(guó)粉體網(wǎng)

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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