中國粉體網訊 近日,泰州市科技局發布了關于2025年度市級重點實驗室擬立項建設項目的公示。其中,泰州市半導體陶瓷材料重點實驗室在榜,依托單位為江蘇集萃半導體陶瓷材料研究所有限公司。
作為半導體生產設備的關鍵部件,精密陶瓷部件的研發生產直接影響著半導體裝備制造業乃至整個半導體產業鏈的發展?梢哉f,精密陶瓷部件是整個半導體產業基礎中的基礎。因此,要突破我國半導體產業面臨的“卡脖子”窘境,必須重視精密陶瓷部件等半導體生產設備關鍵部件的國產化發展,開展產業共性與關鍵技術研發,以及陶瓷制備新工藝流程開發與優化是半導體產業國產化的重要環節。
江蘇集萃半導體陶瓷材料研究所有限公司成立于2023年,專注于半導體陶瓷材料研發,擁有4000平方米的研發中試車間和2000平方米辦公區域,配備先進陶瓷粉體處理設備、成型燒結設備及千級/百級潔凈車間,滿足半導體行業高精度需求。
江蘇集萃半導體陶瓷材料研究所由清華大學新型陶瓷和精細工藝國家重點實驗室、泰興高新技術產業開發區、江蘇省產業技術研究院、泰州市產業技術研究院四方共建。研究所以培育發展半導體材料和裝備部件產業為目標,以突破半導體陶瓷材料產業共性與關鍵技術為重點,集聚半導體陶瓷材料技術領域頂尖人才團隊,開展產業技術應用研究和集成創新,促進科技成果轉移轉化,衍生孵化科技型企業,完善產業鏈,培養高層次創新人才,持續研發半導體用精密陶瓷部件設計、配方工藝、燒結制造、精密加工等核心技術,實現關鍵零部件的國產替代,成為國內半導體裝備用精密陶瓷零部件領域的行業領軍者。
2024年4月28日,總投資額1.08億元的江蘇集萃半導體陶瓷材料研究所半導體裝備用精密陶瓷部件生產項目正式開工建設。項目位于泰興市高新區,廠房建筑面積約19000平方米,建成后,年可生產2萬件IC裝備用陶瓷零部件、5萬件陶瓷基板和10萬件陶瓷防彈板。
來源:泰州市科學技術局、泰興發布、泰興市重大工業項目掌上督系統
(中國粉體網編輯整理/空青)
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