中國粉體網訊  光掩模技術作為半導體技術中的重要組成部分，其制作材料包含玻璃基板、鍍鉻膜層、光刻膠、光學膜等，其中玻璃基板為主要的原材料。

玻璃基板多使用石英玻璃基板和鈉鈣玻璃基板，石英玻璃基板的主體為石英玻璃，其光學透過率高，熱膨脹率低，光譜特性優良，相比鈉鈣玻璃具有更高的硬度和更長的使用壽命，適用于高精度光掩模基板的制造。因此，石英玻璃在光掩模基板的材料選擇中更具備優勢，且市場需求逐年遞增。

隨著對光掩模石英玻璃基板的材料性質和加工精度要求越來越高，其制備的工藝要求也越來越嚴苛。石英玻璃基板的主要工藝包括石英錠熔制、熱加工和冷加工等，每道工序都有嚴格的規范要求。

以化學氣相沉積法（CVD）為例，合成石英的制造是以SiCl₄作為原料，在氫氧焰中高溫水解或氧化生成SiO₂微粒，沉積熔化形成透明的高純石英錠。根據光掩模石英玻璃基板的規格將石英錠割成相應尺寸的石英塊，通過熱加工方式形成石英板。經過一系列的冷加工如切割、開方、倒角、磨拋等工藝的石英板最終形成光掩模石英玻璃基板。

光掩模石英玻璃基板的制造

目前，光掩模基板主要依賴進口，美國康寧、德國賀利氏和日本信越等公司幾乎壟斷了產業需求供給。國內有數家企業有能力生產，但制備技術和加工技術方面較落后，產品應用也多是中低端市場，不能規模化、持續穩定提供高端產品。面對巨大的國內市場，眾多廠家開始光掩模石英玻璃基板的研制，對相關的制造工藝進行摸索與改良。

其中，南通晶體有限公司以服務實現兩個“兩個一百年目標”為根本遵循，以提升合成石英性能為核心，深耕合成石英氣相沉積技術，著力解決制約合成石英關鍵技術突破和國產化自主可控問題，加快我國高性能合成石英產業的高質量發展，助力光掩模行業實現歷史性跨越。

2025年4月23-24日，由中國粉體網、中粉會展主辦的“2025全國半導體行業用高純石英材料產業發展大會”將在江蘇南京召開，屆時來自南通晶體有限公司的錢宜剛總經理，將做題為《光掩模用石英材料研發進展》的報告。

專家簡介

錢宜剛，中共黨員，博士，高級工程師，南通晶體有限公司總經理。特種玻璃技術委員會委員，中國光學工程學會、通信學會高級會員、中國電子學會會員。
    

從事VAD法熔石英制備技術研究16年，主持實施了國家工業強基工程、發改委產業振興和技改專項、江蘇省戰興專項、江蘇省重大科技成果轉化項目等10多項研發項目，研究開發多項填補國內空白的產品和技術，獲省部級科技進步獎5項，獲授權發明專利21件，授權實用新型專利15件，其中獲中國專利優秀獎1項。參編國家標準2項、行業標準2項，發表論文20余篇。

參考來源：

陳婭麗等：光掩模石英玻璃基板的制造工藝概述

（中國粉體網編輯整理/平安）

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