中國粉體網訊  高純石英材料制品作為光伏及半導體等領域不可或缺的基礎性材料，其重要性不斷凸顯。2025年3月27日，由中國粉體網主辦的2025第三屆集成電路及光伏用高純石英材料產業發展大會在江蘇東海隆重召開，會議期間我們與中建材衢州金格蘭石英有限公司的副總經理花寧，就半導體用高純石英材料等問題進行了探討交流。

中國粉體網：花總，首先請您介紹一下中建材衢州金格蘭石英有限公司，其主要產品和性能特點是怎樣的？

花總：中建材衢州金格蘭石英有限公司（簡稱“金格蘭”）前身是中國建筑材料科學研究總院全資子公司，于2013年在浙江衢州開始一期、二期建設，2022年完成三期建設，2024年開始籌劃四期建設。金格蘭是“國家高新技術企業”、“國家專精特新小巨人企業”、“浙江省科技型企業”，專業從事石英玻璃材料及制品研發、生產、測試和銷售的國家高新技術企業，具有完整的石英玻璃冷、熱加工生產線，可規模化生產各類石英玻璃及制品。

公司主營高純天然石英砂、合成石英砂、石英砣、不透明石英砣、石英玻璃制品（石英棒、管、片、舟、燈）等產品。公司不透明石英玻璃、高純合成石英砂、合成石英管等系列產品，入選首批次新材料，技術水平達到國際先進水平，廣泛用于半導體、光伏、光通訊、光學等。其中高純合成石英砂根據應用不同，分為雜質含量<1ppm和＜3ppm兩類產品，均可用于熔制石英玻璃、石英坩堝。

中國粉體網：在半導體制程中，具體會應用到哪些高純石英材料，其各自的功能和作用是什么？

花總：半導體制程中，會用到大量石英制品，如石英坩堝，用于單晶硅拉制；石英環主要應用于半導體硅片刻蝕等工藝；石英法蘭是石英玻璃擴散管的配套材料，起連接作用；高精度石英玻璃基片是光掩模基板的重要基礎材料；石英玻璃擴散管可將半導體中擴散或離子注入；石英舟、石英支架等在多個工藝中作為單晶硅片的承載器具。

中國粉體網：在半導體集成電路與芯片制造中，石英玻璃材料對其原料高純石英砂的要求是怎樣的？

花總：純度要求高，金屬雜質（如Li、Na、K等）需小于1ppm，部分先進制程要求<0.1ppm，非金屬雜質（如B、P）需低于0.1ppm，防止摻雜干擾半導體電性能。對影響性能的Cu、Fe也有不同要求。在半導體集成電路與芯片制造中不同工序對純度也有不同要求。

中國粉體網：半導體行業、光伏行業以及光纖行業，對石英材料性能指標要求有何不同？

花總：從純度、氣泡和穩定性來說，半導體行業對石英材料性能指標要求更高，光伏行業和光纖行業相近。光纖行業用石英玻璃主要在高溫工藝，所以光纖行業對石英材料的耐溫性更受關注，進而對石英玻璃的熔制工藝有潛在要求。

中國粉體網：您認為，與國外龍頭企業相比，我國半導體石英制品還存在哪些短板？如何突破？

花總：我國半導體石英制品加工短板在于大型化和高精度，目前我國半導體石英制品集中8寸及8寸以下，在12寸及以上占有率偏低。主要受制于加工裝備和技術工藝。推動國產設備的高端化和精密化，或者引入國外高端裝備。構建“石英材料-石英制品-半導體設備”產業鏈，推進與國內半導體設備廠商深入合作，推動半導體石英制品的國產化，進而加快我國半導體石英制品的突破。

中國粉體網：您認為半導體用高純石英材料行業的市場現狀和發展前景如何？

花總：2024年全球半導體用高純石英材料市場規模達58億美元，年復合增長率（CAGR）約12.3%，預計2030年將突破110億美元。EUV光刻機需求激增（每臺需高純石英透鏡3-5噸）；全球晶圓廠擴產（2025年新增12座12英寸廠，中國占8座），石英部件（反應腔、晶舟）需求同步上升。海外龍頭企業主導高端市場，控制6N級合成石英和EUV光刻透鏡技術。國內企業市占率從2020年的5%提升至2025年的15%，但產品集中于中低端（4N-5N級）。全球90%高純石英砂產自美國、挪威，國內提純技術落后。精密加工設備存在禁運風險，制約國產石英部件良率。

關于半導體用高純石英材料的發展前景，在技術方面：超高純與合成石英普及，推動國產替代。政策方面，國家大基金三期（2024年啟動）定向投資高純材料項目，單筆額度超50億元。工信部《半導體材料高質量發展行動計劃》將石英列為“核心攻關材料”，目標2030年國產化率超60%。國際競爭加劇，美國《芯片與科學法案》限制石英技術對華出口，倒逼國內產業鏈自主化。

（中國粉體網編輯整理/初末）

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