隨著科學技術的飛速發展，半導體材料的革新速度也進一步加快。當前，碳化硅作為第三代半導體材料的典型代表，在新能源汽車、光伏、儲能等新興領域正快速滲透，已成為全球半導體產業的前沿和制高點。同時，我國“十四五”規劃已將碳化硅半導體納入重點支持領域，碳化硅半導體將在我國5G基站建設、特高壓、城際高速鐵路和城市軌道交通、新能源汽車充電樁、大數據中心等新基建領域發揮重要作用。

近年來，我國在SiC材料領域取得了顯著進展，但與國際先進水平相比，在晶體生長技術、晶圓加工技術等方面仍存在一定差距。SiC晶體生長過程中面臨著晶體缺陷控制、生長速率提升、晶體質量穩定性等難題；晶圓加工方面，則存在加工精度不足、良品率低、加工成本較高等挑戰。在當前倡導節能減排的大趨勢下，快速穩定地突破碳化硅單晶尺寸和質量等關鍵問題，才能夠更好地占據未來碳化硅市場。

在此背景下，中國粉體網將于2025年8月21日在江蘇·蘇州舉辦第三代半導體SiC晶體生長及晶圓加工技術研討會，大會將匯聚國內行業專家、學者、技術人員、企業界代表圍繞晶體生長工藝、關鍵原材料、生長設備及應用、碳化硅晶片切、磨、拋技術等方面展開演講交流。蘇州錦業源自動化設備有限公司作為參展單位邀請您共同出席。

蘇州錦業源自動化設備有限公司（隸屬于錦源科技控股有限公司）成立于2011年8月，是一家專業從事半導體封裝、電子陶瓷（LTCC，HTCC）生產及設備代理的專業服務商，尤為擅長提供微組裝整線及電子陶瓷整線工藝、生產解決方案和技術支援。

目前，公司主要合作伙伴來自歐洲及日本，合力為業界廣大客戶提供一流的產品及方案，同時提供專業技術顧問，咨詢服務。

公司發展至今，培養了具備核心競爭力的人才團隊，擁有具備專業素養的若干售前、售后及銷售人員，可積極快速響應客戶要求并提供優質、高效、稱心的服務，為客戶創造價值，贏得效益。

基于客戶多年來的信任及認可，我們將持續秉承技術引領方向、經驗規避風險、服務決定未來、伙伴一起成長!”的宗旨，推動行業發展，精心服務用戶，求是創新，更創輝煌!

產品介紹

1、全自動單晶圓清洗機 AST-T02-CL

設備功能及特點：

晶圓全自動清洗機，8”/12” 共享機臺，切換只需更換FOUP內 Adaptor。

具備多功特性，針對不同應用，集成不同功能。具備高速離心旋轉、HPC、二流體、SC1 化學清洗及能加裝兆聲波等功能。

適用于 Particle 清洗、Flux 清洗及光阻殘留清洗等制程 。

流場模擬腔體設計，獨特的密封設計，為制程提供最潔凈的清洗環境。

友善的軟件接口，提供量產和工程安全便利的芯片制程。

2、單晶圓/陶瓷片超聲波光阻噴涂機

設備功能及特點：

本機是全自動的超聲波噴涂機臺，可實現取片、對位、噴涂、去邊、烘烤、放片等全自動作業。超聲波噴涂是利用壓電材料將電能轉換為機械能，以震蕩的方式來霧化流體，可以得到均勻且微細的涂布液滴，以溫和且微細的液滴從基材正上方開始沉積涂布，階梯覆蓋率的表現更為優越，也能有效提高材料利用率。利用轉速跟噴頭移動速度做配合，進行連續性的旋轉噴涂，可有效提高產能，更可消除一般設備來回噴涂時，因路徑不同所造成的膜厚落差。并且本機采用大口徑的供料流道設計，能有效避免管路堵塞的發生，減少設備停機維修時間，提高設備使用的稼動率。腔體結構導入流場數值模擬規劃，用以進行優化流道幾何設計，避免粒子回流污染涂布腔體。

3、高精度光刻機

設備特點:

UV-LED光源

安全又環保 無需預熱冷卻

選用 UV-LED 光源不再需 要預熱和冷卻，因為 LED 僅 在曝光期間打開。這些因素 顯著有助于相對較低的能源 消耗。LED 的使用壽命比傳 統燈高出許多倍，從而降低 了更換燈泡所產生的成本。 停工、購買新燈、調整和處 理舊材料都已成為過去。使 用 LED 燈箱既安全又環保， 是健康和職業安全以及環境 保護方面的重要進步。

高精度自動套刻系統

性能提升 品質升級

作為全場曝光系統， CI-150A/CI-200A能夠一 次曝光150mm/200mm 晶圓,此系統光均勻性已 超過95%，更能提升產 品品質。它更高的吞吐 量和更低的投資成本直 接轉化為更低的擁有成 本，使其成為適用于各 種光刻工藝的最佳決方案。

卓越的光均勻性

高精度 更精準

采用頂部對 準系統， 選用高 清相機及大視野 鏡頭， 納米級對 位承載平臺以及 低頻隔振系統， 在將掩模定位在 晶圓上時可實現 低至 0.5 μm 的 對準精度 。

會務組

聯系人：段經理

電話：13810445572

郵箱：duanwanwan@cnpowder.com

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