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超納金剛石光罩精拋液材料與算法研發(fā)產(chǎn)業(yè)化


來源:中國(guó)粉體網(wǎng)   山林

[導(dǎo)讀]  超納金剛石光罩精拋液材料與算法研發(fā)產(chǎn)業(yè)化

中國(guó)粉體網(wǎng)訊


超納材料是尺寸小于10nm的納米材料的下一代革命性材料技術(shù),具有反常于納米材料的超小尺寸效應(yīng),在半導(dǎo)體精密拋光、光罩缺陷修復(fù)、光學(xué)精密加工、量子計(jì)算、生物醫(yī)藥、航空航天航海、人工智能等方面有廠泛的應(yīng)用前景,在化學(xué)、物理、材料、生物、量子等領(lǐng)域具有研究?jī)r(jià)值和應(yīng)用價(jià)值。


蘇州極鉆納米科技有限責(zé)任公司創(chuàng)立于2024年4月,作為超納材料高新技術(shù)的先鋒,公司以半導(dǎo)體產(chǎn)品與車規(guī)新能源材料雙輪驅(qū)動(dòng),構(gòu)建起以研發(fā)為主導(dǎo)、生產(chǎn)、銷售、進(jìn)出口為一體的產(chǎn)學(xué)研結(jié)合新星企業(yè),專注于硬科技、卡脖子、國(guó)產(chǎn)替代的戰(zhàn)略布局。


在拋光液領(lǐng)域,公司已取得顯著成果。拋光液是化學(xué)機(jī)械拋光的重要組成部分,在拋光過程中,拋光液中的氧化劑、表面活性劑等與工件發(fā)生化學(xué)反應(yīng),使工件表面軟化;拋光液中的磨粒會(huì)對(duì)工件的軟化層進(jìn)行機(jī)械磨削,使未反應(yīng)的材料表面暴露出來,進(jìn)而確保了材料表面的化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行下去。公司現(xiàn)有產(chǎn)品包括超納金剛石精拋液、金剛石量子點(diǎn)基拋光材料和金剛石量子點(diǎn)基混合拋光材料,規(guī)劃產(chǎn)品有超納磁流變液、微納金剛石砂輪、光罩保護(hù)膜、金剛石保護(hù)膜、金剛石刀具、金剛石單光子器件、雙極板、核電池等相關(guān)產(chǎn)品與服務(wù)。


公司聚焦半導(dǎo)體制造關(guān)鍵耗材國(guó)產(chǎn)化,通過技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化,提供高精度、低成本的半導(dǎo)體化學(xué)物理拋光耗材,滿足高端市場(chǎng)需求。極鉆納米致力于研發(fā)拋光顆粒粒徑控制在2-5nm之間(分布誤差±0.5nm),達(dá)到行業(yè)最小尺寸極限,完成拋光精度表面粗糙度達(dá)0.1nm(原子級(jí)),面型精度優(yōu)于40nm,缺陷40nm小于10顆。公司通過宏微觀算法模型優(yōu)化CMP工藝參數(shù),提升拋光效率并降低生產(chǎn)成本,預(yù)計(jì)在三年內(nèi)申請(qǐng)發(fā)明專利5項(xiàng),國(guó)際發(fā)明2項(xiàng),融資3000萬元人民幣,用于原材料、生產(chǎn)設(shè)備、檢驗(yàn)設(shè)備投資。將團(tuán)隊(duì)擴(kuò)充至50人,建設(shè)500平無塵生產(chǎn)車間。相關(guān)項(xiàng)目預(yù)計(jì)在2025年實(shí)現(xiàn)500萬元銷售收入,2026年實(shí)現(xiàn)1000萬的銷售收入,2027年實(shí)現(xiàn)2000萬的銷售收入。


研磨拋光技術(shù)在集成電路芯片的制作中具有重要作用,針對(duì)高端研磨拋光相關(guān)的技術(shù)、材料、設(shè)備、市場(chǎng)等方面的問題,中國(guó)粉體網(wǎng)將于2025年4月16日河南鄭州舉辦2025第二屆高端研磨拋光材料技術(shù)大會(huì)。屆時(shí),蘇州極鉆納米科技有限公司董事長(zhǎng)劉添彪將作題為《超納金剛石光罩精拋液材料與算法研發(fā)產(chǎn)業(yè)化》的報(bào)告。


專家簡(jiǎn)介:



劉添彪,男,31歲,擁有3年半導(dǎo)體材料和設(shè)備研發(fā)經(jīng)驗(yàn),專注于掩膜版新材料研發(fā)、工藝優(yōu)化及項(xiàng)目管理。熟悉i-line、KrF、ArF、EUV掩膜版技術(shù),具備超精細(xì)研磨拋光、離子束拋光及飛秒激光加工等先進(jìn)技術(shù)的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。在高純靶材國(guó)產(chǎn)化、光刻膠開發(fā)等“卡脖子”技術(shù)領(lǐng)域取得突破性成果,撰寫多篇專利,并與國(guó)內(nèi)龍頭企業(yè)合作推動(dòng)技術(shù)落地。具備扎實(shí)的材料科學(xué)背景,熟練掌握多種材料表征和測(cè)試技術(shù),如高壓原位拉曼光譜、同步輻射等。責(zé)任心強(qiáng),創(chuàng)新能力突出,善于團(tuán)隊(duì)協(xié)作與問題解決,致力于通過技術(shù)創(chuàng)新推動(dòng)半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。


參考來源:

[1]中國(guó)粉體網(wǎng)

[2]賀祥等,混合磨粒 CMP 拋光液的制備及拋光效果研究


(中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/山林)

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