中國粉體網訊  近日，國投創業完成對國內高端半導體電子陶瓷與精密零部件領軍企業無錫海古德新技術有限公司（以下簡稱“海古德”）的領投。此次投資旨在推動高端半導體材料和設備精密零部件自主創新，加速實現國產替代。

海古德是一家集高端半導體電子陶瓷及精密零部件的設計、研發、生產與銷售為一體的現代化高新技術企業，核心產品包括陶瓷靜電卡盤、陶瓷基板、精密陶瓷部件等。

海古德產品系列

精密陶瓷部件：半導體設備中關鍵部件

精密陶瓷部件是使用氧化鋁陶瓷、氮化鋁陶瓷、碳化硅陶瓷等先進陶瓷材料經精密加工后制造的半導體設備零部件。先進陶瓷材料在強度、精度、電學性能和耐腐蝕性等方面的優異表現，能滿足真空、高溫等特殊環境下的半導體制造復雜性能要求。

精密陶瓷零部件廣泛應用于光刻、刻蝕、薄膜沉積離子注入、CMP等多個半導體制造關鍵流程的核心設備中，如軸承、導軌、內襯、靜電吸盤、機械搬運臂等。尤其是在設備腔體內部，發揮支撐、保護、導流等功能。

在高端光刻機中，為實現高制程精度，需要廣泛采用具有良好的功能復合性、結構穩定性、熱穩定性、尺寸精度的陶瓷零部件，如E-chuck、Vacumm-chuck、Block、磁鋼骨架水冷板、反射鏡、導軌等，這些關鍵部件一般選用碳化硅陶瓷材料。

在刻蝕設備中，采用陶瓷材料制作的部件主要有窗視鏡，氣體分散盤，噴嘴，絕緣環，蓋板，聚焦環和靜電吸盤等。隨著芯片特征尺寸的減小和鹵素類等離子體能量的逐漸提高，刻蝕機工藝腔和腔體內部件的耐等離子體刻蝕性能變得越來越重要。

海古德：持續擴展泛半導體先進陶瓷材料體系

海古德核心業務聚焦于氮化鋁、氮化硅和碳化硅三大前沿材料，憑借深厚的技術底蘊與創新能力，公司成功研發出高性能氮化鋁陶瓷基板、高性能氮化硅陶瓷基板、靜電卡盤、加熱盤、全陶瓷加熱器、高純碳化硅精密陶瓷件等一系列半導體核心封裝材料和關鍵零部件，目前已在多家半導體設備制造企業實現批量化供應，為國內企業提供了穩定可靠的國產替代方案。

據了解，2023年，海古德功率半導體（一期）項目竣工，該項目由無錫海古德投資50億元創建江蘇海古德半導體科技公司，新上六條流延線及排膠線，新購燒結爐、研磨機、激光粒度分析儀、氣相色譜儀等進口設備，年產氮化鋁基板720萬片，氮化硅基板300萬片。

海古德團隊在高性能電子陶瓷材料行業深耕多年，積累了豐富的行業經驗和技術專長，在粉體配方、流延、成型、燒結等關鍵生產環節，形成了深厚的工藝沉淀和持續的技術創新能力，構建了全方位的核心競爭優勢。

借助本次投資，海古德將持續拓展泛半導體先進陶瓷材料體系及應用領域，致力于為客戶提供更加全面、優質的產品系列，不斷加大研發投入，深化技術創新，全力提升產品性能與服務質量，以契合高端半導體電子陶瓷與精密零部件的日益增長且不斷升級的市場需求。通過本輪投資，國投創業將支持海古德擴大半導體陶瓷零部件產能，加快高端半導體陶瓷和半導體核心陶瓷零部件的國產化進程。

來源：國投創業、東臺高新區、粉體網

（中國粉體網編輯整理/空青）

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