中國粉體網(wǎng)訊  近日，“AI寧波”首屆人工智能賦能產(chǎn)業(yè)大賽頒獎(jiǎng)典禮順利舉行。沈陽產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院全資子公司盛科創(chuàng)投投資企業(yè)中科金瓷（寧波）新材料技術(shù)有限公司參賽項(xiàng)目“半導(dǎo)體制程核心陶瓷零部件國產(chǎn)化”榮獲一等獎(jiǎng)。

中科金瓷成立于2023年4月，總部位于寧波，公司專注于晶圓靜電吸盤、陶瓷加熱盤等半導(dǎo)體制程陶瓷新材料及相關(guān)元器件的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，具有從原材料合成與處理、粉料制作、精密成型、燒結(jié)、精密和超高精度加工及功能化處理等特種陶瓷和陶瓷基電子元器件全流程技術(shù)與制造能力。

陶瓷零部件在半導(dǎo)體制程中廣泛應(yīng)用

半導(dǎo)體設(shè)備的升級迭代，很大程度上有賴于精密零部件的關(guān)鍵技術(shù)突破。先進(jìn)陶瓷具有高硬度、高彈性模量、高耐磨、高絕緣、耐腐蝕、低膨脹等優(yōu)點(diǎn)，可用作多種半導(dǎo)體設(shè)備的零部件，在半導(dǎo)體設(shè)備零部件中先進(jìn)陶瓷的價(jià)值占比約16%，尤其是高端陶瓷零部件陶瓷加熱器和靜電卡盤均有約30億的國內(nèi)市場空間。 

半導(dǎo)體設(shè)備中常用的先進(jìn)陶瓷材料是氧化鋁、氮化鋁、碳化硅、氮化硅、氧化釔等，其中氧化鋁、碳化硅和氮化鋁使用較多。半導(dǎo)體設(shè)備由腔室內(nèi)和腔室外設(shè)備組成，陶瓷零部件大部分用在離晶圓更近的腔室內(nèi)，屬于關(guān)鍵零部件，主要應(yīng)用需求在刻蝕、薄膜沉積、光刻和氧化擴(kuò)散等設(shè)備，氧化鋁、氮化鋁等先進(jìn)陶瓷經(jīng)精密加工后制備的半導(dǎo)體設(shè)備用核心零部件，具有高強(qiáng)度、耐腐蝕、高精度等優(yōu)異性能。 

中科金瓷：發(fā)力國產(chǎn)半導(dǎo)體陶瓷零部件

2024年10月，盛科創(chuàng)投聯(lián)合其他社會(huì)資本完成對中科金瓷數(shù)千萬元PreA輪增資。

在陶瓷零部件制備方面，中科金瓷突破了國產(chǎn)精密陶瓷發(fā)展受高純粉體原材料缺乏、高效工藝制程以及超精密加工能力不足的限制，具備通過粉體預(yù)處理和添加摻雜，燒結(jié)助劑，調(diào)阻劑等配方調(diào)配的性能調(diào)控能力，公司產(chǎn)品陶瓷體積電阻率可以達(dá)到E^⁸-10^¹¹Ω*cm，依靠流延成型、高溫共燒等成型燒結(jié)技術(shù)，保證產(chǎn)品優(yōu)異性能的同時(shí)產(chǎn)品幾乎沒有明顯的變形；建立了大尺寸平面陶瓷超高精度加工能力，陶瓷表面凸起點(diǎn)的高度小于30μm、且12寸區(qū)域內(nèi)每個(gè)凸起點(diǎn)高度差1%以內(nèi)。真正掌握了從粉體制備、粉體處理、成形、燒結(jié)、機(jī)加工及檢測各環(huán)節(jié)系統(tǒng)調(diào)控的核心技術(shù)與能力。

在下游應(yīng)用領(lǐng)域，公司業(yè)務(wù)聚焦在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，專注于國產(chǎn)化替代和產(chǎn)品創(chuàng)新。國產(chǎn)化替代方面，公司主要解決半導(dǎo)體設(shè)備用精密陶瓷零部件國外壟斷問題，在產(chǎn)品創(chuàng)新方面，公司通過從粉體調(diào)配到高精機(jī)加工全流程設(shè)計(jì)與優(yōu)化，以核心技術(shù)賦能陶瓷配方與工藝創(chuàng)新。公司多溫區(qū)加熱盤等多款產(chǎn)品已經(jīng)在國內(nèi)知名半導(dǎo)體設(shè)備廠商進(jìn)行多輪驗(yàn)證。

來源：沈陽產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院、中科金瓷公司

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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