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硅微粉是一種無毒、無味、無污染的無機非金屬材料。由于它具備耐溫性好、耐酸堿腐蝕、導熱系數高、高絕緣、低膨脹、化學性能穩定、硬度大等優良的性能，被廣泛用于化工、電子、集成電路、電器、塑料、涂料、高級油漆、橡膠、國防等領域。隨著高技術領域的迅猛發展，硅微粉亦將步入新的歷史發展時期。

硅微粉的粒度控制

隨著我國微電子工業、國防工業及其他高新技術的飛速發展，要求硅微粉必須滿足高純、超細及球形化的要求、所以，硅微粉的加工過程的污染、粒度控制、純度控制、放射性元素控制等問題更需要嚴格把控。

鳳陽信成工業材料有限公司使用的LS-POP(9)型激光粒度儀

不同級別的硅微粉對粒度要求是不一樣的，其中“球粒”硅微粉選用高品質石英原礦，細度在325目至5000目之間，具有合理可控的粒度范圍，外觀為白色粉末狀。當前，國內市場需求的高檔硅微粉如球形硅微粉仍舊依賴進口。

新沂市宏潤石英硅微粉有限公司使用中的LS-POP（6）激光粒度儀

硅微粉的球形度檢測

球形硅微粉主要用于大規模集成電路封裝，在航空、航天、精細化工、可擦寫光盤、大面積電子基板、特種陶瓷及日用化妝品等高新技術領域也有應用，它在環氧樹脂體系中作為填料后，可節約大量的環氧樹脂。

顆粒球形度是顆粒的基本參數之一。球形度的大小直接影響顆粒的流動性和堆積性。目前球形度的檢測主要靠顯微鏡。

在球形硅微粉的制備及應用過程中，球形度及粒度檢測至關重要。

LS-POP(9)型激光粒度儀是歐美克儀器公司依靠英國思百吉強大的研發管理經驗，結合歐美克銷量最大的儀器LS-POP(6)的市場應用特點，繼承LS-POP(6)適應惡劣工作環境、性價比高等優點，借鑒國外粒度儀先進平臺而打造出的一款全新儀器。該儀器測試性能更強、性價比更高。

▼LS-POP(9)測試報告

技術指標：

1. 測試原理：全量程米氏散射理論

2. 測試范圍：0.1～750μm

3. 進樣方式：濕法

4. 重復性誤差：<1%（標樣D50偏差）

5. 掃描頻率：1 kHz

6. 測試時間：1～2分鐘

7. 檢測器：通道數49個，由前向、側向、大角和后向光電探測器組成

8. 光源種類：氦-氖激光，功率：2.0 mW，波長：0.6328 μm

9. 工作環境： 5～35℃（溫度），＜85%（相對濕度）

10. 輸出數據：粒度分布表、粒度分布曲線、平均粒徑、中位徑、比表面積等

11. 外觀尺寸（L×W×H）：838×265×295mm（主機）