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RION液體粒子在線監測系統

液體中的粒子污染對產品質量有著顯著的影響。此外，在人們的消費生活中懸浮于液體的粒子特性對人類也有影響，所以在各個領域對于液體中粒子的控制也變得尤為重要。液體粒子實時在線監測系統可以對用戶液體流路進行實時動態監測，同時產生報表，用于問題查找分析，是用戶生產管理必不可少的一部分。

液體粒子實時在線監測系統

RION液體粒子在線監測系統

主要應用領域

液體粒子計數器的使用主要是為了控制化學品種的粒子，如半導體制作過程中的專用材料SOG（旋轉涂布玻璃）和光阻材料，超純水和清洗用化學劑（比如堿、有機溶劑和氫氟酸）。另外，也可以檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液等。

特殊氣體粒子監測系統

使用在半導體、平板顯示器、太陽能電池和其他行業的產品處理中的許多原材料氣體是有毒、易燃、腐蝕性和活躍性的。比如這些氣體會和水汽發生反應從而輕易產生顆粒物。控制這些反應從而抑制粒子在特殊氣體中的污染是很有必要的。