
大昌華嘉科學儀器部

已認證
大昌華嘉科學儀器部
已認證
Theta Flow Wafer晶圓接觸角測量儀是一款高端的晶圓全自動接觸角測量儀器。該儀器包括Theta Flow光學接觸角測量儀主機,可配置四個具有軟件控制、可水平移動、可拋棄滴液頭的自動滴液器,以及帶自動旋轉的全自動XYZ樣品臺。
晶圓上的接觸角測量對于評估這些材料的潤濕性和表面特性至關重要,這些材料廣泛應用于電子制造。通過評估液滴與晶片表面接觸的角度,研究人員可以深入了解硅的表面能和粘附性能。這些信息對于優化半導體制造中的涂層、光刻和鍵合等工藝至關重要。了解接觸角有助于確保晶片與生產過程中使用的各種材料之間的預期相互作用,*終提高電子設備的性能和可靠性。
應用
? 研究表面清潔度
接觸角測量可以評估晶圓的清潔度,從而來評估表面污染物和殘留物的去除情況。
? 確定表面自由能
通過測量接觸角,可以推斷出表面自由能,這對于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關重要。
? 了解粘附性能
接觸角有助于確定應用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能。
? 研究親水性/疏水性
測量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水,從而影響光刻和蝕刻等工藝。
? 用于質量控制
定期的接觸角測量可以作為質量控制過程的一部分,以確保晶圓加工和處理的一致性。
支持晶圓接觸角測量的軟件功能
? 批量模式,用于對一排多個晶圓進行快速測量。
? 標準座滴法,可進行更深入的分析。
晶圓自動旋轉臺
Theta系列晶圓樣品臺是一種由軟件控制的電動平臺,用于旋轉晶圓,以實現直徑高達12英寸晶圓的接觸角自動定位測量。
Theta系列晶圓樣品臺包括旋轉臺(T340R)和晶圓臺面(T340RW)。晶圓臺面的插銷有助于晶圓的高精度對準和定位。定位銷還有助于在測量過程中將晶圓保持在適當的位置。為了進一步固定晶圓,還可以通過內置的真空連接口連接到真空泵。
Theta系列晶圓樣品臺連接到自動XYZ樣品臺,可以自動定位直徑高達12英寸的晶圓。為了**限度地提高旋轉臺的性能,建議將其與四個可拋棄滴液頭滴液器結合使用。這將允許自動進行表面自由能測量,或者在只使用水的情況下增加連續的測量次數。
晶圓接觸角測量儀
測量參數 | 表面張力,界面張力,接觸角,表面自由能 |
相機分辨率上限(像素) | 2592*2048(5 MP) |
拍照速度上限(FPS) | 3422 |
旋轉移動范圍 | 0-360° |
**轉速 | 180°/s |
分辨率 | 0.005° |
精度 | ±0.1° |
樣品規格
適合的樣品尺寸 | 2英寸, 3英寸, 4英寸, 5英寸, 6英寸, 8英寸, 12英寸晶圓 |
**樣品重量 | 500g |
其他
真空泵連接 | 是 |
接觸角的自動定位 | 是 |
相關產品
更多
相關方案
更多
企業名稱
大昌華嘉科學儀器部企業類型
有限責任公司(外國法人獨資)信用代碼
9131000060734095X4法人代表
林王珠注冊地址
中國(上海)自由貿易試驗區巴圣路275號40號樓第一層西部位成立日期
1996-01-11注冊資本
1,000萬(美元)有效期限
1996-01-11 至 2046-01-10經營范圍
許可項目:食品銷售;酒類經營;第三類醫療器械經營;消毒器械銷售;獸藥經營;道路貨物運輸(不含危險貨物);生活美容服務;理發服務;燃氣燃燒器具安裝、維修。(依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動,具體經營項目以相關部門批準文件或許可證件為準)一般項目:企業總部管理;普通貨物倉儲服務(不含危險化學品等需許可審批的項目);食品銷售(僅銷售預包裝食品);食用農產品批發;食用農產品零售;勞動保護用品銷售;日用百貨銷售;化妝品批發;化妝品零售;美發飾品銷售;個人衛生用品銷售;廚具衛具及日用雜品批發;廚具衛具及日用雜品零售;服裝服飾批發;服裝服飾零售;服裝輔料銷售;針紡織品及原料銷售;文具用品批發;文具用品零售;第一類醫療器械銷售;第二類醫療器械銷售;化工產品銷售(不含許可類化工產品);消毒劑銷售(不含危險化學品);皮革制品銷售;鐘表銷售;珠寶首飾批發;珠寶首飾零售;工藝美術品及禮儀用品銷售(象牙及其制品除外);食品添加劑銷售;金屬材料銷售;金屬工具銷售;儀器儀表銷售;音響設備銷售;畜牧漁業飼料銷售;飼料添加劑銷售;塑料制品銷售;商業、飲食、服務專用設備銷售;衛生用品和一次性使用醫療用品銷售;特種勞動防護用品銷售;專用化學產品銷售(不含危險化學品);日用化學產品銷售;辦公用品銷售;家用電器銷售;飼料原料銷售;寵物食品及用品批發;電熱食品加工設備銷售;機械設備銷售;五金產品批發;五金產品零售;電子測量儀器銷售;電子產品銷售;電氣設備銷售;互聯網銷售(除銷售需要許可的商品);貨物進出口;技術進出口;進出口代理;國內貿易代理;離岸貿易經營;銷售代理;貿易經紀;會議及展覽服務;包裝服務;機械設備租賃;充電控制設備租賃;日用產品修理;儀器儀表修理;家用電器安裝服務;專業保潔、清洗、消毒服務;信息咨詢服務(不含許可類信息咨詢服務);企業管理;品牌管理;醫學研究和試驗發展(除人體干細胞、基因診斷與治療技術開發和應用);健康咨詢服務(不含診療服務);物業管理;國內貨物運輸代理;技術服務、技術開發、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣。(除依法須經批準的項目外,憑營業執照依法自主開展經營活動)
400-810-0069轉3838
虛擬號將在 秒后失效
使用微信掃碼撥號