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安徽貝意克設備技術有限公司
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一、主要特點
我司研制的回轉PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區，輝光均勻等效，這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態，這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現象
該款設備選用特殊形狀(兩頭細中間粗)的石英管作為化學氣相沉積的反應室;加熱的同時爐管可360度旋轉，管內壁有石英擋片幫助粉體材料翻炒有助于燒結得更均勻;而且爐體可左右大角度傾斜，方便進出料，傾斜角度在0~35°可調。
此款設備現廣泛應用于低溫石墨烯制備實驗、粉體材料碳包覆實驗。
二、技術參數
加熱爐 | |
使用溫度 | ≤1200℃ |
加熱區長度 | 440mm |
恒溫區長度 | 200mm |
加熱元件 | 電阻絲（摻鉬鐵鉻鋁合金） |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫，模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 |
爐管尺寸 | Φ60*420mm+Φ100*360mm+Φ60*420mm |
爐管轉速 | 3~13r/min |
傾斜角度 | 0~35° |
PE源 | |
信號頻率 | 13.56MHz±0.005% |
功率輸出范圍 | 0-500W |
射頻輸出接口 | 50Ω，N-type，female |
功率穩定性 | ≤5W |
氣路系統 | |
供氣系統 | 高精度質量流量計（量程可選） |
準確度 | ±1.5% |
響應精度 | ±0.2% |
響應時間 | 氣特性：1~4sec，電特性：10sec |
工作壓差范圍 | 0.1~0.5MPa |
壓力 | ≤3MPa |
連接頭類型 | Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭 |
真空系統 | |
真空系統 | 采用KF25系列波紋管和手動擋板閥 |
真空度可達10-1Pa | |
數顯真空測試儀可直觀的顯示數值 | |
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