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杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司
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簡介
PECVD工藝中由于等離子體中高速運(yùn)動的電子撞擊到中性的反應(yīng)氣體分子，就會使中性反應(yīng)氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應(yīng)；借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜；具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)；
1200℃高真空PECVD系統(tǒng)通過滑動爐體來實(shí)現(xiàn)快速的升降溫，配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度；同時(shí)通過多路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。 主要應(yīng)用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備，生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等，也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。同時(shí)上海煜志良好的售后服務(wù)體系，使得該產(chǎn)品的整體評價(jià)遠(yuǎn)超同行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
主要技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | 整機(jī)采用SUS304不銹鋼材質(zhì)，流線型外觀，斷熱式結(jié)構(gòu)； 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好； 爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩(wěn)； 爐子可以手動從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻； 爐蓋可開啟，可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料 |
尺寸重量 | 1730*660*1130mm；凈重：210kg |
電源 | 電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW |
爐管 | 高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小； 尺寸：Φ60*1300mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空； 一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷； 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐； 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件采用康泰爾發(fā)熱絲，表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用； 加熱區(qū)長度：300mm 恒溫區(qū)長度：150mm； 工作溫度：≤1150℃； **溫度：1200℃； 升溫速率：10℃/min |
溫控系統(tǒng) | 日本富士溫控儀表，64段控溫程序，可分步、分段 |
混氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制；內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥；管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套；每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥；通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量流量規(guī)格：0~1000sccm（可選）； 流量精度：±1.5% |
高真空系統(tǒng) | 采用雙級旋片真空泵+分子泵，極限真空可達(dá)4.0*10^-4Pa； 復(fù)合真空計(jì)，配置電阻規(guī)+電離規(guī) 抽速：110L/S； 冷卻：風(fēng)冷； 電源:AC220V 50/60Hz |
射頻電源系統(tǒng) | 輸出功率:0-300W；功率穩(wěn)定度：±0.1%；射頻電源頻率:13.56MHz 穩(wěn)定性±0.005%；**反向功率:120W；射頻電源電子輸出端口:UHF； 冷卻:風(fēng)冷； 電源:AC187-253V 50/60Hz |
可選配件 | 各種剛玉、石英坩堝，石英管，計(jì)算機(jī)控制軟件 |
保修卡 | 整機(jī)一年保修（相關(guān)耗材除外） |
可根據(jù)客戶要求定制！
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企業(yè)名稱
杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司企業(yè)類型
其他有限責(zé)任公司信用代碼
91310114MA1GTDEL81法人代表
張鵬注冊地址
浙江省杭州市富陽區(qū)春江街道江南路68號第23幢202室成立日期
2020-05-12注冊資本
1,939.1萬(元)有效期限
2020-05-12 至 無固定期限
經(jīng)營范圍
一般項(xiàng)目：通用設(shè)備制造（不含特種設(shè)備制造）；烘爐、熔爐及電爐制造；冶金專用設(shè)備制造；玻璃、陶瓷和搪瓷制品生產(chǎn)專用設(shè)備制造；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造；烘爐、熔爐及電爐銷售；泵及真空設(shè)備銷售；電子產(chǎn)品銷售；儀器儀表銷售；機(jī)械設(shè)備研發(fā)；冶金專用設(shè)備銷售；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售；機(jī)械電氣設(shè)備銷售；工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置銷售；技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣；新材料技術(shù)研發(fā)；新型陶瓷材料銷售；石墨烯材料銷售；石墨及碳素制品銷售；非金屬礦及制品銷售；功能玻璃和新型光學(xué)材料銷售；貨物進(jìn)出口；技術(shù)進(jìn)出口（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動）。
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