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“ 離子精修儀 ”

消除 FIB 鎵離子導致的樣品非晶層問題

“裝機成功啦！”

在科學研究的道路上，每一次突破都離不開先進的科研設備的支持。近日，由曾獲諾貝爾學獎(1964)的 Prof. A. M. Prohorov 和其合作者創立的匈牙利品牌 Technoorg Linda 旗下的  Gentle Mill 離子精修儀設備在安徽大學電鏡中心順利安裝，經過工程師們的精心調試，設備各項參數達標，已經成功實現了在實驗室中的正常運行，并且展現出了令人滿意的實驗結果。

設備順利裝機及安徽大學電鏡中心工作人員正在使用設備

01. 關于安徽大學電鏡中心

安徽大學電鏡中心是學校重點建設的高端平臺之一。本著服務安大、覆蓋安徽、面向全國、對標國際的宗旨，為高等學校、科研院所及企事業單位提供對外測試服務，是國內一流的電鏡微觀結構表征平臺。中心目前已擁有一臺 Crossbeam 550 FIB-SEM 雙束電鏡，一臺 F200 場發射電鏡，一臺 NEOARM 單球差電鏡，一臺 Titan Themis Z 雙球差電鏡。另外，中心還了配備熱電一體，氣體加熱，液體電化學以及力電一體等全套原位樣品桿。

02. 為什么使用離子精修儀？

安徽大學電鏡中心的工作人員需要對 FIB 減薄后的樣品進行電子能量損失譜（EELS）分析。但當前面臨的問題是， FIB 加工后帶來的非晶層以及注入的鎵離子都會對 EELS 分析帶來干擾，掩蓋了樣品的真實信息。

通過使用 Gentle Mill 離子精修儀，其配備了專利設計的低能氬離子槍，離子束能量最低可達 100 eV，可把非晶層厚度精修到 1 nm 以下，由此工作人員可以撥開非晶層的迷霧，直接獲得樣品的真實信息。

03. 離子精修案例分享

接下來我們一起看看經過離子精修儀修復 FIB 樣品的相關案例（鑒于對安徽大學科研成果的保護，我們未能直接放本次實驗 DEMO 的結果）

A 案例 1

經 Gentle Mill 設備精修后的 PbTiO3/SrTiO3 界面 HRTEM 圖像。

B 案例 2

ZnO 中添加 In2O3 的材料經 Gentle Mill 精修后的 HRTEM 圖像。

C 案例 3

Bi0.9Sm0.1FeO3 樣品經 Gentle Mill 精修處理之后的 HRTEM 圖片。

D 案例 4

La2/3-xLi3xTiO3 (LLTO) 樣品去除 FIB 產生的表面非晶層的完整流程。(a) 30 kV FIB 切割樣品的HRTEM照片。(b-d) 連續使用低能氬離子精修后的 HRTEM 結果。圖片中標識了對應的精修參數和非晶層厚度。

E 案例 5

Gentle Mill 離子精修后，Zr 和 ZrO2 中 Nb 析出物的 EELS 分析結果

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為了讓更多的科研人員親自體驗到 Gentle Mill 離子精修儀的優越性能，我們誠摯邀請您聯系我們獲取更多產品詳情、應用資料或預約 DEMO，相信它將為您的研究工作帶來新的啟示和突破。

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ABOUT

離子精修儀介紹

Gentle Mill 離子精修儀專門用于解決聚焦離子束（FIB）高能鎵離子導致的樣品非晶層和離子注入問題。

離子精修儀配備專利設計的低能氬離子槍（100 - 2000 eV，連續可調），可在比FIB 更低的電壓下精修樣品，從而大幅減少損傷層厚度，直至 1 nm 以下。該法可對 FIB 樣品/ TEM 樣品進行表面減薄、表面后處理、去除非晶層和氧化層，實現對樣品的表面清潔和最終精修，展現樣品原始形貌結構，是改善 FIB 樣品的一種有效手段。

此外，離子精修儀還可以部分去除 TEM 觀察時在樣品表面產生的碳沉積，從而可以實現多次利用寶貴的 FIB 樣品。