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Thermo Scientifific? Apreo SEM 具有*廣泛地適用性，可以 在*短時間內為材料研究人員提供**的成像質量。 當 Apreo 的電子束打開，形貌和成分襯度可以同時被鏡筒內探 測系統呈現：無需繁瑣操作，即可快速探索并獲取樣品各方面 信息。在高放大倍率下，Apreo 的長工作距離（如 10mm 分析 工作距離）也能表現出杰出的分辨性能。即使在絕緣、電子束敏 感或磁性的材料上，Apreo的用戶界面也可以高效地引導操作者 獲得表征該納米結構的**參數條件。 Apreo 能在短時間內 解決錯綜復雜的研究問題，適用于需要多功能以及多用戶操作 的應用場合。 Apreo 是研究納米顆粒、催化劑、粉末和納米器件的理想平臺， 其創新的末級透鏡設計，絲毫不會降低對磁性樣品的分辨能 力。 靜電式末級透鏡（Apreo C 和 Apreo S）能夠實現鏡筒內 多種信號的同時探測和高分辨率，而 Apreo S 則結合靜電、浸 沒式磁場的復合透鏡以進一步提高低電壓下的分辨率，在 1 kV  加速電壓下的分辨率為 1.0 nm，不需要電子束減速。通過將浸 沒式磁透鏡和靜電透鏡組合還可以實現特有的信號過濾功能。 Apreo 擁有透鏡內背散射探測器 T1，其位置緊靠樣品，確保在 較短的時間內獲得**量的采集信號。與其他背散射探測器不 同，這種快速的探測器在導航時、傾斜時或工作距離很短時能 夠始終保持良好的材料襯度。在表征敏感樣品時，探測器的優 越性能尤為突出，即使電流低至幾 pA，它也能提供清晰的背散 射圖像。Apreo S 復合末級透鏡通過能量過濾實現高質量的材 料襯度以及絕緣樣品的無電荷成像，進一步提高了 T1 BSE 探 測器的使用價值。Apreo 還提供了受歡迎的選配探頭來補充其 探測能力，例如定向背散射探測器(DBS)、STEM 3+ 和低真空氣 體分析探測器(GAD)。所有這些探測器都擁有獨一無二的軟件控 制分割功能，以便根據需求選擇*有價值的樣品信息。

全面實現納米或亞納米分辨性能，從納米顆粒，粉末，催化 劑和納米器件到塊狀磁性樣品等材料。 ***的背散射電子探測始終可保證良好的材料襯度，即使 是以低電壓和小束流并以任何傾斜角度對電子束敏感樣品 進行 TV 速率成像是也不例外。 無比靈活的探測器可將各個探測器分割提供的信息相結 合，讓用戶能夠獲得至關重要的對比或信號強度。 各種各樣的荷電緩解策略，包括樣品倉壓力**為 500 Pa  的低真空模式，可實現任何樣品的成像。 **的分析平臺提供高電子束電流，而且束斑很小。倉室支 持三個 EDS 探測器、共面的 EDS 和 EBSD 以及針對分析 而優化的低真空系統。 樣品處理和導航極容易，具有多用途樣品支架和 Nav-Cam+。 通過高級用戶指導、預設和撤消功能為新用戶提供專 家級結果。 高真空模式下成像的羥磷灰石晶體的低能量 (1 keV) 二次電子圖像。

 每個 Apreo 都按標準配備各種用以處理絕緣樣品的策略，包 括：高真空技術，例如 SmartSCAN?、漂移補償幀積分(DCFI) 和 電荷過濾。對于*有挑戰性的應用，Apreo 可提供電荷緩解策 略。其中包括可選的低真空（**為 500 Pa）策略，通過經現場 驗證的穿鏡式差分抽氣機構和專用低真空探測器，不但可以緩 解任何樣品上的電荷，還能提供**的分辨率和較大的分析電 流。 隨著分析技術的使用越來越常規化，Apreo 倉室經過全新設計， 以便更好地支持不同的配件和實驗。倉室*多容納三個 EDS/ WDS 端口，可實現快速敏感的 X 射線測量、共面 EDS/EBSD/ TKD 排列并與（冷凍）CL、拉曼、 EBIC 和其他技術兼容。 所有這些功能都能通過簡單的樣品處理和熟悉的 xT UI 獲得， 節省了新用戶和專家級用戶的時間。可自定義的用戶界面提供 了諸多用戶指導、自動化和遠程操作選項。 通過所有這些優勢（包括復合末級透鏡、高級探測和靈活樣品 處理）， Apreo 可提供出色的性能和多功能性，幫助您應對未 來多年的研究難題。

.8 nm 電子光學器件 ? 高分辨率場發射 SEM 鏡筒，配有: – 高穩定性肖特基場發射電子槍，用于提供穩定的高分辨率分 析電流 – 復合末級透鏡：靜電、無磁場和浸沒磁技術結合而成的物 鏡* – 60° 物鏡幾何結構：支持傾斜較大的樣品 ? 自動加熱式光闌，可確保清潔和無接觸式更換光闌孔 ? 支持低真空*的穿鏡式差分抽氣結構，可減少電子束裙散效 應，以實現*精準的分析和**的分辨率 ? 載物臺偏壓在 -4000 V 到 +600 V 之間的電子束減速 ? 持續的電子束電流控制和經過優化的孔隙角度 ? 雙載物臺掃描偏轉 ? 輕松安裝和維護的電子槍 – 自動烘烤、自動啟動、無需機械合 軸? 保證的*短燈絲壽命：24個月 電子束分辨率 ，**工作距離 型號 Apreo C Apreo S 末級透鏡 靜電式 復合式 高真空 30 kV (STEM) 0.8nm 15 kV 1.0 nm 0.7 nm 1 kV 1.3 nm 1.0 nm 1 kV (樣品臺減速) 1.0 nm 0.8 nm 500 V (樣品臺減速) 0.9 nm 100 V (樣品臺減速) 1.8 nm 低真空* 15 kV 1.2 nm 3 kV 1

默認情況下，在完成*終安裝后的系統驗收測試中將檢驗在高真空并啟用浸沒 模式（如果適用）的情況下電壓為 1 kV 和 30 kV 時的分辨率。 電子束參數 ? 電子束電流范圍: 1 pA - 400 nA ? 加速電壓: 200 V – 30 kV ? 著陸能量范圍: 20 eV – 30 keV ? **水平視場寬：10 mm 工作距離下為 3.0 mm（對應于 *小 放大倍率 x29） ? 10mm 分析工作距離 1kV 時電子束分辨率: 1nm 倉室 ? 內寬: 340 mm ? 分析工作距離: 10 mm ? 12 個color:rgb(35,31,32);"> 500 Pa ? EDS 出射角度為 35° ? 可同時安裝三個 EDS 探測器, 兩個處于 180° ? 共面的 EDS/EBSD 與樣品臺的傾斜軸垂直。 探測器 Apreo 通過可用探測器或探測器的分割部分的任意組合，*多 可同時探 測四個信號： ? Trinity 探測系統 (透鏡內和鏡筒內) – T1 分割式透鏡內低位探測器 – T2 透鏡內高位探測器 – T3 鏡筒內探測器* ? ETD – Everhart-Thornley SE 探測器 ? DBS – 可伸縮分割式透鏡下 BSED* ? 低真空 SE 探測器* ? DBS-GAD - 安裝在透鏡上的氣體分析 BSED ? STEM 3+ – 可伸縮分割式探測器（BF、DF、HADF、HAADF)* ? IR-CCD ? Nav-Cam+? - 安裝在倉室內的樣品導航攝像頭 真空系統 ? 完全無油的真空系統 ? 1 × 220 l/s TMP ? 1 × PVP-渦旋泵 ? 2 × IGP ? 倉室真空（高真空）< 6.3 × 10-6 mbar（72 小時抽氣后） ? 抽氣時間：≤ 3.5 分鐘 ? 可選的低真空模式 ? 倉室壓力為 10 到500pa

lor:rgb(35,31,32);">分割和縫合 載物臺和樣品 類型 共心測角臺，5 軸電動 XY 110 × 110 mm 重復性 < 3.0 μm (0° 傾斜時)  電動 Z 65 mm 旋轉 n × 360° 傾斜 -15° / +90° **樣品高度 距共心點 85mm **樣品重量 任意載物臺位置均為 500g （0°傾斜時，**為 2kg） **樣品尺寸 可沿 X、Y 軸完全旋轉時直徑為 122  mm（若樣品超過此限值，則載物臺行程 或旋轉受限） 每個可選橫桿可容納 6 個 S/TEM 載網 ? 晶圓和自定義支架* 系統控制 ? 64 位 GUI (Windows 7)、鍵盤、可選鼠標 ? 24 英寸 LCD 顯示屏、WUXGA 1920 × 1200（第二臺監視器 可選） ? 可定制的圖形用戶界面，*多同時激活 4 個視圖 ? 圖像注冊 ? 蒙太奇導航 ? 圖像分析軟件 ? 撤消/重做功能 ? 有關基本操作/應用的用戶指南 ? 可選操縱桿 ? 可選的手動用戶界面（旋鈕板） 圖像處理器 ? 駐留時間范圍為 25 納秒 - 25 毫秒/像素 ? ** 6144 × 4096 像素 ? 文件類型：TIFF（8、16、24 位）、JPEG 或 BMP ? 單幀或 4 視圖圖像顯示 ? SmartSCAN（256 幀平均或積分、線積分和平均法、隔行 ? 掃描） ? DCFI（漂移補償幀積分） 配件（可選） ? 樣品/倉室清潔：FEI CryoCleaner、FEI 集成的等離子清洗器 ? 分析：EDS、EBSD、WDS、CL、拉曼 ? QuickLoader?：用于快速樣品傳輸的交換倉 ? 導航：關聯導航、MAPS

2);">應用培訓合同 ? FEI 氣體注入：*多 2 個單位（其他配件可能會限制可用的 GIS 數）， 適用于以下材料的電子束誘導沉積： – 鉑– 鎢– 碳? 機械手 ? 冷凍載物臺 ? 電氣探查/多探查臺 ? 靜電束閘 軟件選項 ? MAPS，適用于自動采集大型圖像和可選的相關工作 ? iFast，提供高級自動化功能 ? 具有網絡連接的數據歸檔軟件 ? 高級圖像分析軟件 文檔 ? 在線用戶指南 ? 使用說明手冊 ? 在線幫助 ? 適用 RAPID（遠程診斷支持） ? 免費訪問“FEI for Owners”在線資源 保修和培訓 ? 1 年保修 ? 可選服務維護合同 ? 可選操作/

35,31,32);">) 安裝要求 （請參考安裝前指南，以獲取詳細數據） ? 電源： – 電壓：100 - 240 V AC（-6%，+10%） – 頻率：50 或 60 Hz (±1%) – 能耗：< 3.0 kVA（基本款顯微鏡） ? 接地電阻：< 0.1 Ω ? 環境： – 溫度：(20 ± 3)°C – 相對濕度：低于 80% – 雜散 AC 磁場：在 20 ms（50 Hz 電源）或 17 ms（60 Hz 電 源） 線時間下，< 40 nT（異步）或 < 100 nT（同步） ? *小門尺寸：0.9 m 寬 × 1.9 m 高 ? 重量：鏡筒控制臺為 980 kg ? 建議使用干氮進行放氣 ? 干凈、干燥且無油的 4 - 6 bar 壓縮空氣 ? 系統水冷卻裝置 ? 噪音：根據相關聲譜進行現場調查 ? <span style=";font-size:13px;font-family:FZLTXHK;col