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儀器名稱：全自動離子濺射儀 型號：ETD-800
原理：二極直流濺射
儀器名稱：離子濺射儀 型號：ETD-900M
原理：磁控濺射
在磁控濺射中，由于運動電子在磁場中受到洛侖茲力，它們的運動軌跡會發生彎曲甚至產
生螺旋運動，其運動路徑變長，因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數，使等離子體密度增大，從而磁控濺射速率得到很大的提高，而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作。同時，經過多次碰撞而喪失能量的電子到達陽極時，已變成低能電子，從而不會使基片過熱。
ETD-800參數：
主機規格：260mm×307mm×260mm（W×D×H）
電源規格：220V/50HZ
靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）
靶材：Au
真空樣品室： 硼硅酸鹽玻璃 115mm×100mm（D×H）
定時器： *長時間：3600S
機械泵： 1L/S
**電壓：-1200 DCV
ETD-900M參數：
主機規格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）
靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）
靶材：Au（標配）
樣品室：硼硅酸鹽玻璃 160mm×120mm（D×H）
靶材尺寸：Ф 50mm
真空指示表： **真空度：≤ 4X10-2 mbar
離子電流表： **電流：50mA
定時器： *長時間：0-360S ?
微型真空氣閥：可連接φ 3mm 軟管
可通入氣體： 多種
**電壓： -1600 DCV ?
機械泵：標準配置 2L/S（國產 VRD-8）
ETD-800用途：
適用于電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備。
特點：
可以通過更換不同的靶材（金、鉑、銀等），以達到更細顆粒的涂層。
一鍵式操作，使用方便。
ETD-900M用途：
適用于電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備，非導體材料實驗電極制作。
特點：
1、簡單、經濟、可靠、外觀精美。
2、可調節濺射電流和真空室壓強以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。
3、SETPLASMA 手動啟動按鈕可預先設置好壓強和濺射電流避免對膜造成不必要的損傷。
4、真空保護可避免真空過低造成設備短路。
5、同時可以通過更換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、銅等），以達到更細顆粒的涂層。
6、通過通入不同的惰性氣體以達到更純凈的涂層。
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2月25日，遼寧省政協主席周波率隊赴鞍山市開展調研工作，重點考察高新技術企業創新發展情況。鞍山市委書記王忠昆，市委常委、秘書長武佩瑩，高新區黨工委書記、管委會主任鄭思南等領導陪同調研。周波主席一行深入
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掃描電子顯微鏡（SEM）是一種應用于各個領域的高分辨率成像儀器，因其優異的表征性能和高分辨率的成像能力，廣泛應用于食品微觀結構的表征中。民以食為天，食品是日常生活中必不可少的一部分，而食品的微觀結構與
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