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立式化學氣相沉積爐(沉積炭)
立式化學氣相沉積爐(沉積炭)

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型號

立式化學氣相沉積爐(沉積炭)

品牌

頂立科技

產(chǎn)地

湖南

樣本

暫無
湖南頂立科技股份有限公司

金牌會員

|

第12年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    -
  • 最高溫度:

    -
  • 額定溫度:

    -
  • 非金屬電熱元件:

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立式化學氣相沉積爐(沉積炭)技術特征

電阻爐可采用多溫區(qū)獨立控溫,溫度均勻性好;

采用智能壓力調控,壓力波動小;

全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;

多級高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,能高效收集焦油及副產(chǎn)物,易清理;

可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng),降溫時間短,生產(chǎn)效率高;

立式化學氣相沉積爐(沉積炭)產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號VCVD-0305-CVCVD-0608-CVCVD-0812-CVCVD-1120-CVCVD-1320-CVCVD-1520-C
工作區(qū)尺寸D×H(mm)Φ300×500Φ600×800Φ800×1200Φ1100×2000Φ1300×2000Φ1500×2000
**溫度(℃)150015001500150015001500
溫度均勻性(℃)±5/±10±7.5/±10±7.5/±15±10/±15±10/±15±10/±20
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應


參數(shù)\型號VCVD-1822-CVCVD-2032-CVCVD-2632-CVCVD-3338-CVCVD-3344-C
工作區(qū)尺寸D×H(mm)Φ1800×2200Φ2000×3200Φ2600×3200Φ3300×3800Φ3300×44000
**溫度(℃)15001500150015001500
溫度均勻性(℃)±15±15±15±20±20
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調整,不作為驗收依據(jù),具體以技術方案和協(xié)議為準。

立式化學氣相沉積爐(沉積炭)配置選擇

結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動/自動

爐殼材質:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

加熱器、馬弗:石墨/CFC/金屬

熱電偶:K/N/C/S分度號

電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)


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